国家高技术研究发展计划(2007AA04Z330)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 锆钛酸铅薄膜的生长与表征
- 2013年
- 研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的形貌、成分进行了表征测试。在此基础上,采用微机电系统(MEMS)工艺,开发了可用于测试PZT薄膜材料特性的工艺流程与测试样品。然后,利用标准铁电测试仪对不同热处理温度和不同退火温度的PZT薄膜的极化强度进行了铁电特性测试。结果表明,在400℃进行热处理,650℃进行退火的条件下制备出的PZT薄膜其成分和形貌比较好,铁电特性较优,能够应用于MEMS器件与纳米器件的制造中。
- 张翊潘峰包达群王建艳郭航
- 关键词：退火溶胶凝胶法
- 微管道内超声流用于冷却的研究
- 微流体装置中基于声流而产生的对流热传导对于装置内的冷却作用有一定的研究潜景。但对于声场引起微管道内流体的运动并产生冷却效果的理论研究很少。本文首先应用流体动力学的基本理论,建立起声流场的一维解析模型,对声波在管道内部传播...
- 孙宏明刘琦郭航郭涛
- 关键词：声流微管道
- 文献传递
- 图形化静电纺丝PZT纳米纤维的研究
- 近年来纳米纤维作为新型材料受到重视,在许多领域的应用研究也取得了进展。静电纺丝被证明是一种有效的纳米纤维制备方法,目前有许多关于应用静电纺丝法制备PZT纳米纤维的研究报道,但在制备有序与定向排列的纳米纤维上仍有较大缺陷与...
- 裴强郭建来陶也郭航
- 关键词：静电纺丝图形化
- 文献传递
- 采用Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜及其表征
- 本文介绍用Sol-gel技术制备的PZT薄膜的生长和表征。文中,我们通过分析极化强度来研究退火温度、不同的膜厚和不同衬底对PZT薄膜铁电特性的影响。PZT薄膜的电滞回线用Sawyer Tower回路来测量。实验数据表明P...
- 包达群张翊郭航郭涛
- 关键词：PZT薄膜铁电性
- 文献传递
- 应用于微纳米颗粒的MEMS超声分离器件的声学特性分析
- 本文针对一种应用于微纳米颗粒的MEMS超声分离器件的声学特性进行了研究。其中器件中的声场分为两部分进行分析,即器件中微型薄膜振动所激发的声场与流体介质对薄膜振动造成的声衰减。文中首先对微器件中氮化硅薄膜振动所产生的声压进...
- 杨慧刘琦郭航
- 关键词：MEMS器件声学特性超声
- 文献传递
- 微型超声手术刀等效电路与压电驱动电源的研究
- 本文对一种由PZT振片与硅变幅杆构成的微型超声手术刀的等效电路模型进行了研究。在该模型中,手术刀整体电特性等效为一阻容网络,而机械特性则以RLC串联谐振支路的形式体现,当外界负载条件的变化时,反映至等效电路将引起串联谐振...
- 武敬郭航
- 关键词：PZT等效电路
- 文献传递
- 微型超声手术刀的振动检测技术
- 微型超声手术刀是目前正在研究的将MEMS技术与压电超声技术结合起来的一种新型微创手术器械。其刀体被设计成对称或偏心的硅片喇叭口形,刀头带有微齿,由MEMS技术加工制成,而在接近刀体的中部贴有PZT-4压电陶瓷片,以驱动刀...
- 徐加山郭航
- 关键词：MEMS技术振动信号光学检测信号采集
- 文献传递
- 应用静电纺丝法制备PZT纳米纤维薄膜
- 2014年
- 提出应用静电纺丝法制备PZT纳米纤维薄膜。研究中配制PZT溶液后再进行静电纺丝,获得了PZT纳米纤维薄膜,并且通过调整纺丝时间和沉积次数来控制纳米纤维薄膜的厚度。运用SEM对获得的热处理前后的薄膜进行了观察对比,测量其平均直径约为200 nm;运用XRD对退火后的样品进行分析,测得样品的主要成分为Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,证明所制备的正是PZT薄膜;运用AFM测得薄膜的表面粗糙度为1.034 nm,说明该纳米薄膜材料非常的均匀整齐。
- 王建艳裴强吴玉玲郭航
- 关键词：静电纺丝退火
- 带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
- 2013年
- 为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,研究表明:当采用键合温度为400℃,电压为1200 V,压力为450 Pa,可获得键合面积大于90%的带有Si3N4薄膜的三层阳极键合结构。
- 林智鑫王盛贵刘琦曾毅波郭航
- 关键词：阳极键合
