上海市科委纳米专项基金(0359nm006)
- 作品数:2 被引量:5H指数:1
- 相关作者:王瑞斌范小兰路庆华毕刚饶群力更多>>
- 相关机构:上海交通大学上海工程技术大学更多>>
- 发文基金:上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术更多>>
- 纳米SiC颗粒SAXS表征及其与XRD、SEM的比较被引量:4
- 2004年
- 对在不同工艺下制备的两组纳米SiC颗粒分别进行了小角X射线散射(SAXS)、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)测试.结果显示,两组颗粒试样存在尺寸和粒度分布差异,不同测量方法所包含的信息各有侧重.利用二维探测器XRD系统进行了SAXS和XRD测量,探讨了该系统在SAXS测量中的数据采集和处理方法,对这些测试结果及其与SEM的结果进行了综合分析比较.发现SAXS更适合于样品尺寸的总体状态表征,能提供更丰富的信息,计算结果更可靠.
- 饶群力路庆华毕刚王瑞斌范小兰
- 关键词:纳米材料小角X射线散射X射线衍射
- 测量薄膜表面粗糙度方法的研究被引量:1
- 2006年
- 表面粗糙度是衡量产品表面质量的重要参数,随着表面加工精度的不断提高,产品的表面粗糙度也由微米级别向纳米级别发展。触针式表面轮廓仪是国家标准规定的测量表面粗糙度的方法,而原子力显微镜是测量表面粗糙度的新型仪器。通过对比原子力显微镜和表面轮廓仪的测量结果,分析了表面轮廓仪误差产生的主要原因,并提出了利用原子力显微镜测量薄膜纳米级表面粗糙度的方法。
- 李刚王瑞斌李慧琴
- 关键词:粗糙度表面轮廓仪原子力显微镜