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国家高技术研究发展计划(2007AA04Z354)

作品数：2 被引量：0H指数：0
相关作者：丁红宇刘伟张苹更多>>
相关机构：机械科学研究总院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇总则
  • 1篇几何量
  • 1篇MEMS

机构

  • 2篇机械科学研究...

作者

  • 2篇刘伟
  • 2篇丁红宇
  • 1篇张苹

传媒

  • 2篇机械工业标准...

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微几何量评定总则研究
2009年
本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分:评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及评定结论。
刘伟张苹丁红宇
关键词：MEMS
硅基MEMS标准体系研究
2009年
本文介绍了硅基MEMS标准化国内外发展状况,阐述了硅基MEMS标准体系在我国硅基MEMS标准化工作的中的意义,并说明了我国硅基MEMS标准体系框架的构成以及未来的标准研究内容。
刘伟丁红宇
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