上海市科委纳米专项基金(0452nm0510552nm046)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 金刚石高频SAW器件中关键材料的制备研究被引量：1
- 2006年
- 采用热丝化学气相沉积(CVD)法制备了自支撑金刚石膜,再通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜上。通过光学显微镜、扫描电镜(SEM)以及原子力显微镜(AFM)测试自支撑金刚石膜的表面形貌,结果表明,自支撑金刚石膜的成核面非常光滑,粗糙度约为10 nm;拉曼光谱显示成核面在1 333 cm-1附近有尖锐的散射峰,与金刚石的sp3键相对应,非金刚石相含量很少;X-射线衍射分析(XRD)显示,沉积在自支撑金刚石膜上的氧化锌薄膜为高度的c轴择优取向生长。
- 刘健敏夏义本王林军阮建锋苏青峰史伟民
- 关键词：表面粗糙度氧化锌薄膜
- 低粗糙度金刚石薄膜的制备及其光学性能的表征被引量：1
- 2007年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在反应气压、衬底温度一定的情况下,通过改变碳源浓度以制备低粗糙度金刚石薄膜.扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试结果表明,随着碳源浓度适当增加(从2%增加到3%),金刚石薄膜表面晶粒尺寸减小到纳米量级,平均粗糙度从45 nm降低到21 nm,同时光学透过率下降.椭圆偏振光谱拟合结果显示,随着碳源浓度的增加,薄膜折射率n稍有偏离理想值.拉曼散射光谱显示随着碳源浓度的增加,薄膜中非金刚石相含量增加,一定程度上影响了薄膜的光学质量.结果表明,在表面粗糙度相差不大的情况下,薄膜的质量决定了其光学性质.
- 施凌云王林军蒋丽雯刘健敏夏义本
- 关键词：金刚石薄膜碳源浓度表面粗糙度光学性质
