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国家自然科学基金(60236010): 作品数：32 被引量：106H指数：6; 相关作者：刘明王太宏陈大鹏叶甜春谢常青更多>>; 相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院北京理工大学更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划更多>>; 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

基于二叉树和自组织思想的密钥管理技术在MANET中的应用被引量：1: 2006年; 提出了基于二叉树和自组织公钥体制的密钥管理方案在MANET中的应用;给出了子图选择和最佳路径选择算法,根据最佳路径算法提出了星形最佳路径选择算法,在没有中心控制节点控制下实现安全密钥交换;仿真结果证明,该方案具有比较灵活的扩展性和更高的性能。; 王顺满陶然王越; 关键词：MANET 自组织密钥管理

基于OES的等离子体刻蚀过程被引量：2: 2008年; 光学发射光谱(OES)诊断技术是高密度等离子体刻蚀工艺过程的关键技术,OES信号作为一种实时信号可以用来预测刻蚀过程的进展程度和判断刻蚀性能的好坏。在自行研发的等离子体刻蚀机平台上,采用美国海洋公司的OES传感器系统,采集多晶硅刻蚀工艺中所产生的OES信号,利用主元素分析法(PCA)对OES数据进行压缩处理,提高了实时信号的快速处理能力。对实验数据的分析表明:波长为405nm的OES谱线可以明确显示出等离子体刻蚀进程,是一条表征等离子体刻蚀过程的状态检测及终点检测控制的特征谱线。在此基础之上,提出了基于PCA法的终点检测算法,用以判断刻蚀终点。; 王巍王玉青孙江宏兰中文龚云贵; 关键词：等离子体刻蚀 OES

An Efficient Key Agreement Framework to MANET: 2006年; Protocols for key management are compared and evaluated from the point of view on mobile ad hoc networks (MANET). The issues of fault-tolerance and efficiency of key distribution protocols for group communications in MANET are addressed. Most key distribution protocols existing today are primarily designed for wire-line networks. These protocols either fail to work as intended or cannot work at all when they are applied to the demanding environment of MANET. Parameters and performance of different protocols are analyzed, and then a flat is given out, on which new protocols or existing ones are designed and modified, so that they can be robust, scalable and efficient in MANET.; 王顺满陶然王越; 关键词：移动网络 MANET 网络节点系统安全

基于共沉积技术的AgTCNQ的有机双稳态器件(英文): 2008年; 采用共沉积技术制备了AgTCNQ薄膜,并进行了红外、紫外光谱表征.利用微电子工艺制备了基于AgTCNQ薄膜的有机双稳态器件.研究发现,Ti/AgTCNQ/Au双稳态器件具有可逆、可重复的开关存储特性.将器件从初始的高阻态转变为低阻态的正向开关阈值电压为3.8～5V,将低阻态转变为高阻态的负向阈值电压仅为-3.5～-4.4V,与通常的CuTCNQ器件相比较小.这种基于AgTCNQ交叉结构的有机双稳态器件可应用于非易失性有机存储器.; 涂德钰姬濯宇商立伟刘明王丛舜胡文平; 关键词：双稳态开关

高密度等离子体刻蚀机中的终点检测技术被引量：4: 2005年; 高密度等离子体刻蚀是当今超大规模集成电路制造过程中的关键步骤。目前已经开发出许多终点检测技术。文章讨论了终点检测技术的原理,综述了目前主流刻蚀机使用的两种终点检测技术—OES和IEP—的最新进展,讨论了终点检测技术在深亚微米等离子体刻蚀工艺中的应用,以及所面临的挑战。; 王巍叶甜春陈大鹏刘明李兵; 关键词：等离子体刻蚀工艺 OES

热压印光刻技术复制波带片图形研究被引量：3: 2005年; 针对只需单次曝光的菲涅尔波带片器件,给出了结合电子束光刻和热压印光刻进行大规模复制的完整工艺路线,即首先采用电子束光刻制作热压印模版,之后用热压印光刻进行波带片的大规模复制,所制得的波带片图形的最外环宽度为250 nm,直径为196μm,环数为196环。初步实验结果表明,这种方法具有很好的重复性和易用性,且可以进行低成本波带片的精确复制。; 范东升王德强康晓辉陈大鹏谢常青; 关键词：波带片纳米压印热压印

90nm硅栅过刻蚀工艺中功率对等离子体性质的影响被引量：2: 2007年; 通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外部参数的关系.实验表明在射频功率增加的过程中,能量耦合系数处于一个相对稳定的常值;当等离子体处于局部加热状态时,绝大部分的电子处于附着状态,维持等离子体的电子数目相对减少.等离子体中的射频能量耦合空间随着射频功率的增加,分布状态会变得更加一致化.; 张庆钊谢长青刘明李兵朱效立; 关键词：等离子体干法刻蚀朗谬尔探针

单次可编程金属-分子-金属器件(英文): 2008年; 提出了一种单次可编程的金属-分子-金属器件.该器件利用一种经过改良的Rotaxane LB膜作为功能层,可以和应用于场编程门阵列电路中的无机反熔丝器件相比拟,将在有机可编程电路和容错电路等方面有较广泛的应用.所有的加工工艺都是低温工艺,使得该器件可以和其他有机器件集成.电学测试表明该器件有良好的单次编程能力,其击穿电压为2.2V,关态电阻为15kΩ,而开态电阻为54Ω.据分析,这一特性是由非对称的电极结构和金属原子在高电场作用下穿透了分子薄膜所造成的.; 商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸; 关键词：分子器件 ROTAXANE

分数阶傅里叶变换域上带通信号的采样定理被引量：34: 2005年; 傅里叶变换和采样定理是信号处理领域的两大基本问题,采样定理研究了傅里叶变换域上带限信号的采样和重构理论.分数阶傅里叶变换(FRFT)是傅里叶变换的一种推广,与之相应的采样理论目前还不十分完备,所以有必要从FRFT域上重新研究采样定理.本文首先得到了均匀冲激串采样信号的FRFT,然后在此基础上导出了FRFT域上带通信号和低通信号的采样定理和重构公式.这些结果是经典理论的推广,将丰富分数阶傅里叶变换的理论体系.; 张卫强陶然; 关键词：分数阶傅里叶变换带通信号采样定理

Fabrication and Application of a Novel Freestanding Stencil Bi-material Cantilever Structure: This paper reports a novel freestanding stencil bi-material cantilever structure without sacrificial layer pro...; Weibing Wang**a

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