中央高校基本科研业务费专项资金(2012QNA32)
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
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- 磁性液体薄膜微形变的磁控研究被引量：1
- 2014年
- 针对磁性液体薄膜在MEMS加工领域作为光刻掩膜的应用,为获得磁性液体薄膜在磁场作用下的微形变规律,设计了一套磁场下磁性液体薄膜微形变的磁控测试实验台,并从磁场强度、磁性液体种类、磁性液体中磁性颗粒质量分数、磁性液体量和磁场梯度五个方面对其微形变特性进行实验研究。利用磁性液体薄膜形变高度和半径两个参数对其微形变效果进行了评价,实验结果表明:磁性液体薄膜凸起高度与磁场强度平方呈正比;基载液密度低的磁性液体凸起高度大;烃基磁性液体在磁性颗粒质量分数为25%时形变效果最好;磁性液体在达到一定的体积后其凸起高度几乎不变;磁场梯度越大,其凸起高度越明显,形变图形越佳。
- 刘同冈郭岩邹学壮吴健
- 关键词：磁性液体磁控
- 磁性液体的微致动性能被引量：3
- 2014年
- 针对磁性液体在MEMS微致动器中的应用,对磁性液体在磁场中致动力的影响因素进行了理论分析。根据理论分析结果设计了一套磁性液体微致动性能测试实验台,并从磁场强度、磁性液体受力面积和磁性液体质量三个方面对其微致动性能进行实验研究。实验结果表明:磁性液体致动力与磁场强度近似呈线性关系;等量磁性液体作用面积越大,致动力越大;磁性液体致动力随磁性液体质量的增加不断增加,当磁性液体质量达到一定值时,磁性液体致动力大小趋于稳定。
- 郭岩刘同冈吴健
- 关键词：磁性液体微致动器实验台
- 矩阵磁场作用下磁性液体薄膜的微形变
- 2015年
- 在对磁场作用下磁性液体薄膜微形变的影响因素进行分析的基础上,设计了一套磁性液体薄膜微形变测试装置,利用永磁体与电磁线圈相结合作为磁源实现了矩阵磁场的微型化和形变所需梯度,借助摄像装置观测记录磁性液体薄膜微形变的实时图形。通过ANSYS软件仿真分析确定了矩阵磁场的最佳磁源距离,实验研究了矩阵磁场的磁极布置方式、磁性液体的量对其薄膜微形变图形的影响。实验结果表明：对于4×4的矩阵磁场,当磁源相距3.5-4mm、磁极同侧相邻同极布置、磁性液体体积为0.6mL时,磁性液体薄膜的微形变凸起高度达到最大,凸起点大小均匀,形状圆润,形变效果最好。测试结果验证了磁性液体薄膜微形变的磁场可控性,为微镜阵列的致动方式提供了一个新的研究方向。
- 刘同冈费菲郭岩刘帅尹浩
- 关键词：磁性液体
- 基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法
- 2014年
- 本文提出一种微小载荷测量方法,搭建了基于MEMS平面弹簧的测量装置,主要由支撑臂、MEMS平面弹簧和激光位移探测器组成.通过激光位移探测器测量MEMS平面弹簧的微小变形,换算得到所施加的微小载荷.采用深反应离子刻蚀(DRIE)等微加工工艺制作了平面微弹簧,并对其进行理论计算和仿真模拟,给出了刚度范围,最后通过实际测量的方式进行了实验标定.结果显示:MEMS平面弹簧的标定刚度为7.88 mN/μm,其结果与理论及仿真结果较接近,测量精度可达0.08 mN.使用该装置和精密电子天平分别对10组微小质量试块进行测量,其平均误差率为5.75%.
- 吴健刘同冈刘帅商金玮
- 关键词：MEMS
