博士科研启动基金(2005A620018)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 相关领域：自动化与计算机技术化学工程更多>>
- SiC衬底金刚石薄膜的制备与性能表征
- 2007年
- 用热丝CVD法,以丙酮和氢气为碳源,在SiC衬底上沉积金刚石薄膜,提出了分步变参数沉积法制备超细晶粒金刚石复合薄膜的新工艺。结果表明,合理控制工艺条件的新工艺,对金刚石薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力以及薄膜的摩擦系数有显著影响,金刚石薄膜的平均晶粒尺寸从3μm减小到0.3μm,拉曼特征峰显示超细晶粒金刚石薄膜特征,涂层附着力好,超细晶粒金刚石薄膜的表面粗糙度和摩擦系数值显著下降,对获取实用化的S iC在基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义。
- 胡如夫孙方宏
- 关键词：金刚石薄膜SIC材料表面粗糙度
- 改善CVD金刚石薄膜涂层刀具性能的工艺研究被引量：2
- 2007年
- 用热丝CVD法,以丙酮和氢气为碳源,在WC-Co硬质合金衬底上沉积金刚石薄膜,在分析了工艺条件(衬底温度、碳源浓度、反应压力)对金刚石薄膜性能的影响的基础上,提出了分步沉积法改善金刚石薄膜涂层刀具性能的新工艺。结果表明,合理控制工艺条件的新工艺对涂层薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力、刀具的耐用度及切削性能有显著影响,对获取实用化的在硬质合金刀具基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义。
- 胡如夫孙方宏
- 关键词：涂层刀具金刚石薄膜碳源浓度衬底温度
