佛山市科技发展专项基金(FZ2010036)
- 作品数：1 被引量：7H指数：1
- 相关作者：张宪民范彦斌吴志伟卢清华更多>>
- 相关机构：佛山科学技术学院华南理工大学更多>>
- 发文基金：佛山市科技发展专项基金国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 一种低成本微定位平台的设计与仿真被引量：7
- 2013年
- 针对半导体及微纳制造等领域对微定位系统低成本高精度的要求,根据以宏观的输入获得微观的输出、低精度驱动器输入获得高精度输出的设计思想,设计了一种基于柔性铰链差式杠杆机构的低成本微定位平台。在该平台中,通过设计位移缩放机构,将驱动器的宏观输入位移进行比例缩小,实现平台的微观输出,降低微定位平台的成本。分析了微定位平台的刚度,并根据该平台定位机构所受载荷的不同,设计了两种不同的柔性铰链。在此基础上,建立了该平台的有限元分析模型,采用ANSYS对该平台的应力进行了分析,并对该平台的输出位移进行了仿真。仿真结果证明了该微定位平台的可行性。
- 卢清华吴志伟范彦斌张宪民
