中法先进研究计划项目(PRAMX9906)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：唐武徐可为李弦王平宋忠孝更多>>
- 相关机构：西安交通大学西安空间无线电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中法先进研究计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 扩散阻挡层对Cu-Zr合金膜表面形貌与结构的影响被引量：1
- 2002年
- 用磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法,分别以TiN、TaN、ZrN为扩散阻挡层,在单晶硅片上制备了Cu-Zr合金膜,膜在400oC氮气中退火1h。研究表明,不同扩散阻挡层上Cu-Zr膜的形貌不同,沉积态膜的组成颗粒以ZrN为扩散阻挡层的最小,退火后膜的颗粒长大,且Zr向膜表面和界面处扩散。沉积态的膜具有强的(111)取向,峰形宽化明显,退火后又出现(200)、(220)、(311)衍射峰,扩散阻挡层不同时Cu-Zr合金膜的(200)与(111)的强度比值不同。
- 宋忠孝唐武徐可为
- 关键词：表面形貌扩散阻挡层单晶硅
- 微波集成电路(MIC)中Au/NiCr/Ta多层金属膜粗糙化机理的AFM研究被引量：2
- 2003年
- Au/NiCr/Ta多层金属膜通过磁控溅射沉积在Si(111)基片上。XRD分析其晶体取向 ,SEM观察薄膜断面形貌 ,AFM研究薄膜表面粗糙度。结果表明薄膜表面粗糙度与沉积温度有关 ,随着沉积温度 10 0℃→ 2 5 0℃的改变 ,薄膜表面发生从粗糙→光滑→粗糙的变化过程。
- 唐武徐可为王平李弦
- 关键词：微波集成电路原子力显微镜钽镍铬合金
