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西安工业大学校长基金(XGYXJJ-0506)

作品数：1 被引量：3H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇光学特性
  • 1篇薄膜光学
  • 1篇薄膜光学特性
  • 1篇CR
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西安工业大学

作者

  • 1篇潘永强
  • 1篇卢进军

传媒

  • 1篇应用光学

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流磁控溅射Cr-Cr_2O_3复合金属陶瓷薄膜光学特性研究被引量：3
2008年
采用直流反应磁控溅射技术在不同靶电流条件下制备了Cr-Cr2O3金属陶瓷薄膜,并利用椭偏仪测量了薄膜的光学常数。采用修正的M-G(Maxwell-Gannett)理论对不同靶电流条件下沉积的Cr-Cr2O3金属陶瓷薄膜的光学常数进行了理论计算,并将理论计算结果与实验数据进行了比较。结果表明:随着靶电流的增加,膜层中金属微粒体积百分比增加,金属微粒的平均半径随之增加,且金属微粒逐渐趋于扁圆形,理论计算结果与实验结果吻合较好。
卢进军潘永强
关键词：直流磁控溅射光学常数
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