中国博士后科学基金(2004035450)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 相关作者：任杰周广芬于战海张卫卢红亮更多>>
- 相关机构：河北科技大学宣化钢铁集团有限责任公司复旦大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- ZrO_2在Si(100)-2×1表面原子层淀积反应机理的密度泛函理论研究
- 2006年
- 用密度泛函方法研究了ZrO2在羟基预处理的Si(100)-2×1表面原子层淀积(ALD)初始反应过程的反应机理,ZrO2的ALD过程包括两个前体反应物ZrCl4和H2O交替的半反应.两个半反应都经历一个相似的吸附中间体反应路径.比较单羟基Si表面反应的反应焓变,可以发现双羟基Si表面反应,由于相邻羟基的存在,对ZrCl4的半反应影响较大,尤其是化学吸附能增加明显.而对于H2O的半反应,单、双羟基Si表面反应的能量变化不是很明显.使用内禀反应坐标(IRC)方法,验证了两个半反应存在相似的过渡态结构和反应机理.另外,发现随着温度的升高,吸附络合物的稳定性降低,其向反应物方向的解吸附变得容易,而向产物方向的解离难度增加.
- 任杰陈玮卢红亮徐敏张卫
- 关键词：原子层淀积密度泛函理论
- HfO_2和Al_2O_3混合原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究被引量：1
- 2008年
- 密度泛函理论研究了用HfCl4和Al(CH3)3作为前体,HfO2和Al2O3在硅表面的原子层沉积的机理,其包括2个沉积半反应:(1)HfCl4和Al—OH*的表面反应;(2)Al(CH3)3和Hf—OH*的表面反应。计算结果表明,2个半反应过程机理相似,内禀反应坐标研究也表明2个半反应经历了相似的过渡态和副产物的消除路径。另外,升高反应温度,反应(1)中间体的解吸附作用增强,而活化能降低,反应(2)活化能基本不变。
- 周广芬崔永琴于战海任杰
- 关键词：密度泛函理论原子层沉积
