国家重点基础研究发展计划(A1420060154)
- 作品数：2 被引量：11H指数：2
- 相关作者：蔡豪刚赵小林丁桂甫杨卓青刘瑞更多>>
- 相关机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真被引量：4
- 2008年
- 基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加。
- 杨卓青丁桂甫蔡豪刚付世赵小林
- 关键词：微型惯性开关动力学仿真
- 微机电系统惯性电学开关的设计与制作被引量：7
- 2008年
- 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。
- 杨卓青丁桂甫蔡豪刚刘瑞赵小林
- 关键词：微型惯性开关
