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中国博士后科学基金(20070420851)
作品数:
1
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相关作者:
张化宇
檀满林
朱嘉琦
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韩杰才
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张化宇
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2008
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硼掺杂对四面体非晶碳膜电导性能的影响
2008年
以单质硼和高纯石墨的混合粉末压制成型的靶材作为靶源,采用过滤阴极真空电弧技术制备不同硼含量的掺硼四面体非晶碳膜.分别采用四探针法、阻抗分析仪和电化学界面对薄膜的变温电导率、I-V特性和C-V特性进行了测试和研究.实验结果表明,当B含量由0增加至6.04 at%时,薄膜的室温电导率先逐渐增大而后逐渐减小,相应薄膜的电导激活能先逐渐减小而后逐渐增大,并在2.13 at%时分别出现最大和最小值1.42×10-7S/cm和0.1 eV.此外,掺硼四面体非晶碳/n型硅异质结的I-V曲线表现出典型的整流特性,表明p-n结二极管已经形成,且结两端的掺杂能级在空间上连续统一.
檀满林
朱嘉琦
张化宇
朱振业
韩杰才
关键词:
四面体非晶碳
电导率
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