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国家自然科学基金(51171184)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
马红伟
熊良银
刘实
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中国科学院金属研究所
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国家自然科学基金
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2012
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合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响
被引量:1
2012年
研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能。
马红伟
刘实
熊良银
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磁控溅射
合金化
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