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国家自然科学基金(51171184)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：马红伟熊良银刘实更多>>
相关机构：中国科学院金属研究所更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇膜材
  • 1篇溅射
  • 1篇合金
  • 1篇合金化
  • 1篇TI
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国科学院金...

作者

  • 1篇刘实
  • 1篇熊良银
  • 1篇马红伟

传媒

  • 1篇原子能科学技...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响被引量：1
2012年
研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能。
马红伟刘实熊良银
关键词：磁控溅射合金化
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