国家自然科学基金(50405013)
- 作品数：14 被引量：92H指数：6
- 相关作者：赵小林戴旭涵丁桂甫蔡炳初王佩红更多>>
- 相关机构：上海交通大学教育部安徽大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部科学技术研究重大项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 一种基于MEMS技术的可变光衰减器被引量：6
- 2005年
- 介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。分析了偏移量与衰减量的关系,通过MEMS微细加工技术实现了器件的制作和封装,介绍了加工及装配流程。并进行了性能测试,结果表明,新型可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约35dB,工作电压小于5V,偏振相关损耗小于0.1dB,有望为光纤网络提供一种低成本、高性能的光通信器件。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：光纤网络可变光衰减器MEMS微机械
- 基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器被引量：8
- 2008年
- 采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3。Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz。对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV。
- 王佩红鲁李乐戴旭涵赵小林
- 关键词：微机电系统电磁式
- 一种闭环控制的错位型MEMS可调光衰减器被引量：6
- 2006年
- 针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线性度的显著效果.研制出样机并测量得到器件的响应时间(约1.5ms),动态范围(约35dB),波长相关损耗(<0.4dB),偏振相关损耗(<0.1dB)等关键性能参量.
- 邵国成戴旭涵杨昊宇赵小林丁桂甫
- 关键词：可调光衰减器闭环线性度
- 微型电磁式振动能量采集器的研究进展被引量：33
- 2007年
- 随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国内外各研究小组研制的电磁式振动能量采集器的几何模型、结构参数、输出结果和技术特点,最后简单分析电磁式振动能量采集器面临的困难、挑战和发展趋势。
- 王佩红戴旭涵赵小林
- 关键词：微机电系统电磁式
- 一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器被引量：2
- 2007年
- 介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本.此外,还分析了该可调光衰减器的衰减机理,理论计算结果与实验数据基本吻合.实验测得样机性能为,插入损耗低于3dB,动态范围大于40dB,回波损耗大于40dB.
- 邵国成杨昊宇戴旭涵赵小林丁桂甫
- 关键词：微机电系统光衰减器电磁驱动
- 反应离子刻蚀中的边缘效应及其补偿办法被引量：6
- 2005年
- 在反应离子刻蚀中,可以通过提高刻蚀功率来提高反应离子刻蚀速率,但此时由于反应气体浓度分布的影响,Si片中央和边缘的刻蚀速率存在着明显的差异,刻蚀量偏差最多可达±15%以上。本文分析了反应离子刻蚀中不均匀性的产生机理,并通过实验予以验证。进而提出了通过合理设计掩模图形,以减少边缘效应,从而得到均匀刻蚀结果的补偿方法。实验表明,这种补偿方法在刻蚀速率提高近3倍的同时,可以将不均匀性降至±5%以下,适用于对微结构的均匀性要求较高的场所。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：反应离子刻蚀刻蚀速率不均匀性补偿方法反应气体合理设计
- 位错型微机械可变光衰减器的研究被引量：10
- 2005年
- 介绍了一种基于微机械技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量。基于波导传输理论分析确定了器件的结构参量,并通过集成电路微细加工工艺实现了器件的制作和封装。测试结果表明,该可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约35dB,工作电压小于5V,偏振相关损耗小于0.1dB,体积为20mm×15mm×8mm,有望为全光网提供一种低成本,高性能的光通信器件。
- 谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初
- 关键词：光学器件全光网可变光衰减器微机械电磁驱动
- 一种新型MEMS电磁继电器的研究被引量：1
- 2008年
- 介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度。采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件。
- 刘亮赵小林戴旭涵鲁李乐丁桂甫
- 关键词：电磁驱动微继电器微电铸
- MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究被引量：2
- 2008年
- 介绍了一种MEMS电磁微驱动器。基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,建立了平面线圈微驱动器的非线性磁路模型。实验结果表明,考虑线圈绕组半径不同而产生的磁动势分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型。采用硅微细加工技术和微电铸技术成功地制作出了这种微驱动器,并对器件的性能进行了测试,测试结果表明,该模型能很好地计算驱动器的电磁力。
- 鲁李乐赵小林戴旭涵刘亮丁桂甫
- 关键词：电磁驱动
- 一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究被引量：1
- 2010年
- 介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分析了该微电磁继电器的动态特性,探讨了触点间产生碰撞的原因以及消除抖动的方法,为实现下一代体积更小、损耗更低、响应时间更短的继电器打下了良好的基础.
- 孔令飞戴旭涵苗晓丹丁桂甫赵小林
- 关键词：微机电系统电磁继电器碰撞
