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国家重点实验室开放基金(1006)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：袁宁一王莹夏丽谭成邦杨静更多>>
相关机构：常州大学更多>>
发文基金：江苏省高校优势学科建设工程资助项目国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇对偶
  • 1篇性能研究
  • 1篇氧化铝薄膜
  • 1篇原子层沉积
  • 1篇摩擦学
  • 1篇AL2O3薄...

机构

  • 1篇常州大学

作者

  • 1篇丁建宁
  • 1篇杨静
  • 1篇谭成邦
  • 1篇夏丽
  • 1篇王莹
  • 1篇袁宁一

传媒

  • 1篇摩擦学学报（...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
原子层沉积氧化铝薄膜摩擦学性能研究
2013年
不同温度条件下,采用原子层沉积(ALD)技术在单晶硅基底表面制备了Al2O3薄膜.利用原子力显微镜观察了Al2O3薄膜的表面形貌和粗糙度,利用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度,并通过UMT-2型往复摩擦磨损试验机(球-盘接触方式)考察了制备温度、载荷和对偶球对Al2O3薄膜的摩擦学性能的影响.结果表明:不同温度条件下制备得到的Al2O3薄膜的粗糙度不同;制备温度为100和200°C的Al2O3薄膜的摩擦性能较优;在所用载荷范围内,摩擦系数存在最低值;与不同对偶球对摩时,由于对偶球硬度不同,Al2O3薄膜呈现不同的摩擦磨损现象.
王莹杨静袁宁一丁建宁夏丽谭成邦
关键词：AL2O3薄膜原子层沉积
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