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江苏省高校重点实验室开放研究课题(KXJ07126)
作品数:
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相关作者:
程昌
唐翠屏
殷苏民
冯爱新
周建忠
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相关机构:
江苏大学
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发文基金:
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程昌
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2008
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激光划痕法膜基界面的温度场及应力场分析
2008年
为了对膜基系统的温度分布和应力分布进行模拟研究,采用ANSYS有限元分析软件,对高斯移动激光加载条件下TiN薄膜的温度场和由温度场产生的应力场进行了稳态分析。研究结果表明,温度场随激光光源的移动而移动,温度场中温度最大点在激光光斑中心处,且激光光源移动方向后方的温度场有较大的迟滞现象。在膜基系统中产生的应力场主要集中在薄膜内部。温度场和应力场的研究对探讨膜基系统失效进程具有重要意义。
冯爱新
程昌
殷苏民
周建忠
唐翠屏
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激光技术
温度场
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