国家质检总局科技计划项目(D00RJ0704)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 相关作者：傅云霞李源傅星邹子英栗大超更多>>
- 相关机构：上海市计量测试技术研究院天津大学更多>>
- 发文基金：国家质检总局科技计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 激光聚集方法在纳米计量领域的应用被引量：3
- 2008年
- 本文主要描述激光聚焦方法在纳米计量领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测量验证,并对测量过程中对结果造成影响的因素做出不确定度分析,测量结果通过En评估法与国际计量机构(如PTB和NIST)提供的标准值比对后得出所有En比对值均低0.5,从而证实该方法对台阶测量是非常有效的。
- 谢初南傅云霞李源
- 关键词：纳米测量机
- 基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量被引量：4
- 2008年
- 针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统。在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.7552nm,6.05μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088nm。
- 李源邹子英傅云霞傅星栗大超胡小唐
- 关键词：微机电系统尺寸测量纳米测量机
