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江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CXZZ120405)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：李龙王鸣倪海彬更多>>
相关机构：南京师范大学更多>>
发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省产学研前瞻性联合研究项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇蛋白石
  • 1篇晶体
  • 1篇胶体
  • 1篇胶体晶体
  • 1篇光刻
  • 1篇反蛋白石

机构

  • 1篇南京师范大学

作者

  • 1篇倪海彬
  • 1篇王鸣
  • 1篇李龙

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法在反蛋白石结构薄膜中引入二维缺陷
2014年
采用溶胶凝胶协同自组装与光刻相结合的方法,在光子晶体反蛋白石结构中引入缺陷,通过溶胶凝胶协同自组装方法在硅片上垂直沉积胶体晶体复合薄膜,把BP212正性光刻胶均匀旋涂在复合薄膜上,通过曝光、显影等光刻工艺,把掩膜版图案复制在复合薄膜上,用此样品再次垂直沉积一层复合薄膜,使图案被复合薄膜覆盖.最后去除胶体微球与光刻胶图案,从而在反蛋白石结构中引入缺陷,用扫描电子显微镜对样品进行表征.分析了光刻胶图案对胶体微球排列的影响.
李龙王鸣倪海彬沈添怿
关键词：胶体晶体光刻
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