包头市科技计划项目(2011J1004)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 相关作者：张立业张忠义慕利娟赵增祺陈传东更多>>
- 相关机构：包头稀土研究院内蒙古科技大学内蒙古工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划包头市科技计划项目内蒙古自治区科技计划项目更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺更多>>
- CeO_2-SiO_2复合氧化物的制备及性能表征被引量：5
- 2013年
- 化学沉淀法制备了SiO2和CeO2以及复合氧化物CeO2-SiO2等纳米粉体。对粉体的形貌及物相结构、粒径大小通过TEM及XRD进行了检测分析。SiO2粉体为无定形结构,粒径约500 nm,立方萤石型结构的CeO2及复合氧化物CeO2-SiO2的平均粒径小于10 nm,说明复合氧化物的合成过程抑制了粒径的长大。制备了SiO2/CeO2质量比分别为5%、10%、15%、20%的复合氧化物,煅烧温度为400℃～1000℃,结果显示随着SiO2比例的增加,CeO2的特征峰在逐渐减弱,半高宽变宽,粒径变小;随着煅烧温度的升高,特征峰强度增加,半高宽变窄,颗粒的晶型发育越来越完善,但样品的粒径变大。
- 慕利娟张忠义张立业陈传东王婷婷赵增祺
- 关键词：化学沉淀法
- 铈基、硅基半导体抛光液的发展概况
- 2013年
- 介绍了化学机械抛光液的研究进展和抛光原理,分析了化学机械抛光过程中抛光液的重要作用,阐述了配制化学机械抛光液的两种方法,分析了影响铈基抛光液和硅基抛光液抛光性能的诸多因素。最后指出了抛光液回收再利用的重要性和可行性。
- 张立业张忠义赵增祺慕利娟
- 关键词：化学机械抛光
