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教育部科学技术研究重点项目(204047)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：邱成军卜丹更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇谐振式传感器
  • 1篇各向异性
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇黑龙江大学

作者

  • 1篇卜丹
  • 1篇邱成军

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS硅梁谐振式传感器的研究被引量：1
2008年
通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究,结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析,设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器,这种传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与集成电路工艺兼容等优点。对研究制作过程中的关键工艺——各向异性腐蚀技术,尤其是对低温下的腐蚀工艺进行了实验研究,采用高低温相结合的湿法腐蚀工艺制作了微悬臂梁结构,通过实验分析了利用新型有机薄膜对各向异性腐蚀过程中的MEMS器件金属电极的保护效果,为实际生产和设计提供了参考依据。
卜丹邱成军
关键词：传感器微电子机械系统悬臂梁各向异性湿法腐蚀
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共1页<1>
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