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上海市科学技术委员会基础研究重点项目(08JC1422000)
作品数:
1
被引量:2
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相关作者:
耿菲
周健
罗乐
黄秋平
徐高卫
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相关机构:
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2009
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基于埋置式基板的三维多芯片组件的翘曲研究
被引量:2
2009年
采用粘塑性有限元焊球模型以及大形变理论研究了三维多芯片组件(3D-MCM)的翘曲形态特征及其成因,结果表明基板腔室的存在使埋置式基板形成了双弓形翘曲形态,焊球的粘塑性使组件在温度循环中出现了翘曲回滞现象.基板中心空腔能改变基板翘曲形态,有利于减小基板翘曲,并有利于提高倒扣焊器件的热机械可靠性.底充胶能够增强3D-MCM的互连强度,并且能够有效降低3D-MCM温度循环后的残留翘曲度.底充胶的热膨胀系数(CTE)过高可能引发3D-MCM新的失效模式.3D-MCM的云纹干涉实验结果与数值分析结果相符较好.
徐高卫
罗乐
耿菲
黄秋平
周健
关键词:
三维多芯片组件
翘曲
有限元模拟
云纹干涉
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