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舟山市科技局科技项目(05114)

作品数：2 被引量：9H指数：1
相关作者：李伟胡晓珍胡晓冬更多>>
相关机构：浙江工业大学浙江海洋学院更多>>
发文基金：舟山市科技局科技项目浙江省科技厅重点资助项目浙江省自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺自动化与计算机技术自然科学总论更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 2篇超精
  • 2篇超精密
  • 1篇优化设计
  • 1篇直接数字控制
  • 1篇数字控制
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米级
  • 1篇超精密加工

机构

  • 2篇浙江海洋学院
  • 2篇浙江工业大学

作者

  • 2篇胡晓珍
  • 2篇李伟
  • 1篇胡晓冬

传媒

  • 1篇制造技术与机...
  • 1篇机床与液压

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
纳米级双面抛光机控制系统设计
2009年
设计了纳米级双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案。采用WindowsCE软件平台,图形化界面功能指示、高可靠性的实时操作系统、高精度光栅传感器、压力传感器、数字阀组成电气联合控制系统,应用新型电气直接数字控制技术实现该机的自动加工。
胡晓珍胡晓冬李伟
关键词：超精密直接数字控制
超精密双面抛光机结构的优化设计被引量：9
2009年
针对传统双面抛光机存在的问题,从实现超精密抛光的设备条件出发,对机床传动系统、主轴支撑结构、上抛光盘加载系统、抛光盘修整、床身等进行优化改进设计。提高了超精密双面抛光机床的精度和系统性能,为晶片获得纳米级加工精度的超光滑加工表面创造了有利条件。
胡晓珍李伟
关键词：超精密加工优化设计
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共1页<1>
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