国家高技术研究发展计划(2003AA305990)
- 作品数：5 被引量：46H指数：4
- 相关作者：王从曾马捷周美玲毕安园王芦燕更多>>
- 相关机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术冶金工程更多>>
- CVD温度对钼沉积层组织及性能的影响被引量：4
- 2005年
- 介绍了化学气相沉积法(CVD)制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF_6和H_2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明：沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时,沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达677×9.8 MPa：沉积温度较高时,沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼的硬度。
- 马捷毕安园王从曾周美玲
- 关键词：化学气相沉积钼显微组织
- 化学气相沉积法制取异型钨制品研究被引量：26
- 2006年
- 采用化学气相沉积的方法,以WF6和H2为原料,通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品.实验结果表明：沉积层显微组织呈柱晶沿（200）晶面择向生长,具有高纯度（〉99.8%）,高致密度（〉19.2 g/cm^3）,沉积速度可达2～3 mm/h. 采用化学气相沉积法制备钨制品,设备简单,工艺稳定可靠,且制品质量较高,特别适合于异型制品的制备,是一种具有广泛应用前景的钨制品制备方法.
- 马捷张好东毕安园王从曾周美玲
- 关键词：材料合成与加工工艺化学气相沉积钨
- 化学气相沉积制备钼钨合金被引量：11
- 2005年
- 以MoF6、WF6以及H2为原料,用化学气相共沉积的方法,成功地在铜基片表面沉积出钼钨合金。实验分析表明:沉积层结构为单相均匀固溶体。在钼含量高时沉积层显微组织呈细晶层状结构,在钼含量较低时沉积层显微组织呈柱状晶生长。改变反应气体中WF6、MoF6相对含量可实现膜层成分可控。采用化学气相沉积法沉积钼钨等难熔金属合金,沉积纯度高,设备简单,沉积速率快,在高温抗烧蚀涂层及耐腐蚀涂层方面具有广泛的应用前景。
- 马捷毕安园王从曾周美玲
- 关键词：化学气相沉积钼合金
- 化学气相沉积钨铼合金工艺研究被引量：9
- 2006年
- 以ReF6、WF6及H2为原料,用化学气相沉积法,成功地在铜基体表面沉积出钨铼合金。试验分析表明:合金成分均匀,且可由反应气体配比控制,随ReF6增加,合金中铼含量增加;沉积层组织和形貌随沉积温度升高或反应气体中ReF6的增加,由致密的柱状晶发展为杂乱的树枝晶;沉积层结构随ReF6的增加由单一固溶体向固溶体+金属间化合物+铼单质发展。
- 王芦燕王从曾马捷侯艳艳
- 关键词：化学气相沉积
- 化学气相沉积钨锭工艺研究被引量：4
- 2007年
- 以WF6和H2为原料,粉末冶金钨板为基体,采用热丝开管气流化学气相沉积试验装置,成功地制备出可变形钨锭。试验分析表明:钨锭纯度可达99.9%以上,密度大于19.0g/cm3,硬度为400～500HV,具有良好的加工塑性。研究了钨锭在轧制变形后组织性能变化,以及影响其热轧性能的因素。
- 马捷常靖华王从曾王芦燕
- 关键词：化学气相沉积
