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国家自然科学基金(41173124)
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
相关作者:
卫蓉
贺与平
何素芳
单云
刘春侠
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相关机构:
昆明理工大学
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作者
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熊敏
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单云
1篇
何素芳
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贺与平
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卫蓉
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年份
1篇
2012
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电感耦合等离子体-质谱法测定工业硅中的痕量硼和磷
被引量:5
2012年
建立电感耦合等离子体-质谱法(ICP-MS)测定工业硅中痕量B和P的分析方法。采用HF-HNO3混合酸处理样品,对仪器工作参数进行优化,以Rh为校正内标,有效克服了基体效应及多元素分子离子干扰。分析结果表明,方法的检出限为:B为2.0μg.L-1、P为8.5μg.L-1,B和P的加标回收率分别为:97.2%—103.6%、95.2%—102.8%,精密度分别为2.6%、3.5%。方法可准确、快速测定工业硅中痕量元素B和P。
刘春侠
何素芳
贺与平
卫蓉
单云
熊敏
关键词:
电感耦合等离子体-质谱法
工业硅
硼
磷
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