中国工程物理研究院基金(2005Z0805)
- 作品数：4 被引量：13H指数：3
- 相关作者：孙卫国吴卫东唐永建王锋李盛印更多>>
- 相关机构：中国工程物理研究院四川大学同济大学更多>>
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- 相关领域：理学电子电信更多>>
- PLD方法制备的超硬非晶碳薄膜研究被引量：6
- 2007年
- 用脉冲激光沉积在不同条件下制备非晶碳超硬薄膜,研究了非晶碳超硬薄膜的表面形貌、结构、应力、硬度以及能谱等。原子力显微镜和扫描电镜图像显示,薄膜表面平整、致密且光滑,均方根粗糙度最大为0.877 nm。在高激光重复频率、高激光通量条件下,薄膜有很大的应力,致使膜层褶皱甚至破裂,小角X射线衍射表明薄膜为非晶态且最大残余应力达30 GPa以上,但300℃温度的原位退火可以有效降低残余应力;纳米压痕测试表明薄膜硬度大于20 GPa,弹性模量大于200 GPa;X射线光电子能谱表明薄膜中sp3的含量在39%～53%之间变化,并且与激光通量成正比。
- 王锋吴卫东詹勇军李俊李盛印曹林洪葛芳芳唐永建孙卫国
- 关键词：脉冲激光沉积弹性模量
- Fe纳米颗粒嵌埋对类金刚石薄膜结构及电学性能的影响被引量：1
- 2008年
- 采用脉冲激光气相沉积方法制备了不同Fe嵌埋浓度的Fe:DLC多层纳米复合薄膜。用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的组成成分进行分析。利用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱、电流-电压曲线研究Fe纳米颗粒嵌埋对薄膜的微观结构及电学性能的影响。XPS和TEM表明,Fe纳米颗粒周期性地均匀地嵌埋在碳薄膜中。拉曼光谱表明薄膜中的C为典型的类金刚石结构,Fe纳米颗粒促进芳香环式结构的形成,薄膜结构的有序度提高。电流-电压曲线表明,Fe纳米颗粒的嵌埋导致薄膜的室温电导率增加。
- 李盛印吴卫东王锋王雪敏唐永建孙卫国
- 关键词：类金刚石薄膜微观结构电导率
- 衬底温度对类金刚石薄膜力学性能的影响被引量：4
- 2008年
- 采用脉冲激光沉积方法在不同衬底温度下制备了最高硬度与弹性模量分别达45 GPa和290GPa,且表面十分光滑的类金刚石薄膜。在相对湿度为80%的条件下,薄膜最低的摩擦系数与磨损率分别为0.045与5.74×10-10mm3.N-1.m-1。实验结果表明,硬度与弹性模量随衬底温度升高而降低,摩擦系数与磨损率随衬底温度升高而增大。拉曼光谱表明:在室温下制备的薄膜为典型类金刚石结构,sp3含量高达76.8%,而随温度升高,薄膜结构逐渐经无定形碳结构向纳米晶石墨结构方向发展,sp3含量也随之降低,力学性能变差。
- 吴卫东王锋李俊李盛印曹林洪葛芳芳巨新唐永建孙卫国
- 关键词：脉冲激光沉积类金刚石薄膜衬底温度弹性模量磨损率
- 电子回旋共振微波等离子体刻蚀α：CH薄膜的工艺被引量：3
- 2008年
- 为了刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小的α:CH薄膜微器件,研究了有铝和无铝掩膜、气体流量比、工作气压对刻蚀速率的影响,并对纯氧等离子体刻蚀稳定性进行了研究。研究结果表明:在相同条件下,刻蚀速率随刻蚀时间变化不大;α:CH薄膜上有铝和无铝掩膜时,刻蚀速率相同;流量一定时,刻蚀速率随氩气和氧气体积比的增大而降低,当用纯氩气时,几乎没刻蚀作用;刻蚀速率随工作气压的增大而降低。实验中,得到最佳刻蚀条件是:纯氧气,流量4 mL.s-1,工作气压9.9×10-2Pa,微波源电流80 mA,偏压-90 V。
- 陆晓曼张继成吴卫东朱永红郭强唐永建孙卫国
- 关键词：离子刻蚀微齿轮
