浙江省自然科学基金(Y405126)
- 作品数：3 被引量：34H指数：2
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- Li-N-H共掺法制备p型ZnO薄膜被引量：8
- 2006年
- 采用Li-N-H共掺技术在玻璃衬底上生长p型ZnO薄膜．XRD结果表明共掺ZnO薄膜具有高度c轴取向,Hall测试表明薄膜的电阻率为25．2Ω·cm,Hall迁移率为0．5cm^2/(V·s),空穴浓度为4．92×10^(17)/cm^3．此外,p-ZnO薄膜在可见光区域具有90%的高透射率．
- 卢洋藩叶志镇曾昱嘉陈兰兰朱丽萍赵炳辉
- 关键词：磁控溅射共掺
- 氧分压对直流磁控溅射制备ZnO：Ga透明导电薄膜特性的影响被引量：26
- 2007年
- 通过直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了掺镓ZnO(znO:Ga)透明导电薄膜,研究了氧分压对ZnO:Ga透明导电薄膜结构和电光学性能的影响.X射线衍射结果表明所制备的薄膜具有c轴择优取向的六角多晶结构.ZnO:Ca透明导电薄膜的晶粒尺寸强烈依赖于氧分压的大小,随着氧分压的增大薄膜的晶粒尺寸先增大后减小,在氧分压为0.30 Pa时沉积的ZnO:Ga薄膜半高宽最小,晶粒尺寸最大.薄膜的电阻率随着氧分压的增大先减小后增大,沉积薄膜的最低电阻率可达3.50×10^(-4)Ω·cm.此外,所有ZnO:Ga薄膜在可见光范围内的平均透射率均超过90%.
- 马全宝叶志镇何海平朱丽萍张银珠赵炳辉
- 关键词：ZNO:GA透明导电氧化物薄膜氧分压光电特性
- 控制O_2流量生长结状ZnO微纳米棒及其特性研究
- 2007年
- 采用热蒸发法以锌粉和二水醋酸锌作为源材料在Si(111)衬底上制备了高密度的ZnO微纳米棒,制得的每根ZnO棒明显分为直径不同的四段.利用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱和光致发光谱等测试手段对制备的样品进行了形貌、结构和光学性能的分析,结果表明制备的ZnO棒晶体质量良好,仅存在很少量的缺陷.通过讨论该结构的生长机理,发现O_2分压对制备的ZnO微纳米棒的形貌有显著的影响,调节O_2流量可控制ZnO纳米结构的形貌.
- 李介胜朱丽萍唐海平何海平叶志镇赵炳辉
- 关键词：热蒸发氧分压
