江苏省自然科学基金(00KJB430001)
- 作品数：2 被引量：9H指数：2
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- 相关机构：苏州大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响被引量：7
- 2002年
- 采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWPECRCVD)方法 ,使用不同的源气体 (CHF3 CH4 ,CHF3 C2 H2 ,CHF3 C6 H6 )体系制备了a C∶F∶H薄膜 .由于CH4 ,C2 H2 ,C6 H6 气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异 .红外吸收谱的结果表明 ,用C6 H6 CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H ,而用C2 H2 CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高 ,其相应的C F振动峰位向高频方向偏移 .薄膜的真空退火结果表明 ,a C∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外 ,还与CC键和其他键结构的关联有关 ,此外 ,源气体对薄膜的F
- 辛煜宁兆元程珊华陆新华江美福许圣华叶超黄松杜伟
- 关键词：红外吸收光谱
- 微波ECR-CVD法制备a-C:F:H膜的红外吸收及其光学带隙被引量：2
- 2002年
- 改变CHF3 CH4 流量比R =[CHF3] ([CHF3]+[CH4 ]) ,采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (MWECR CVD)方法沉积a C :F :H薄膜。a C :F :H薄膜的结构和光学带隙使用傅立叶变换红外光谱和紫外 可见光谱来表征。红外结果表明 ,在低流量比R(R <6 4 % )下 ,薄膜的红外特征结构主要以 CF(10 6 0cm- 1 ) , CF2(112 0cm- 1 )以及 CHx(2 80 0～ 30 0 0cm- 1 )的伸缩振动为主 ;在高流量比R(R >6 4 % )下 ,薄膜表现为类聚四氟乙烯(PTFE)的结构特征 ,典型的红外特征峰是位于 12 2 0cm- 1 处的 -CF2 反对称伸缩振动。薄膜的光学带隙Eg 随流量比R的变化表现为先降后升。进一步研究表明 ,薄膜中的H和F浓度调制着薄膜的CC共轭双键结构 ,使光学带隙Eg 从 2 37到 3
- 甘肇强陆新华
- 关键词：光学带隙傅立叶变换红外光谱紫外可见光谱类金刚石碳膜
