国家教育部博士点基金(20040699009)
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- 微结构的大转角非线性动态行为的宏建模方法
- 针对微结构的大转角非线性动态行为,提出采用欧拉参数法对用传统欧拉角度法描述的微结构动力学方程进行线性化,以避免MEMS器件的系统级仿真不收敛和提高仿真速度。以大转角扭转微镜为例验证了方法的有效性。用硬件描述语言Mast编...
- 何洋霍鹏飞苑伟政姜澄宇
- 关键词:非线性
- 文献传递
- 基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法
- 针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真。以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统...
- 吕湘连苑伟政何洋霍鹏飞
- 关键词:系统级建模微机电系统仿真
- 文献传递
- 微结构的大转角非线性动态行为的宏建模方法
- 2005年
- 针对微结构的大转角非线性动态行为,提出采用欧拉参数法对用传统欧拉角度法描述的微结构动力学方程进行线性化,以避免MEMS器件的系统级仿真不收敛和提高仿真速度.以大转角扭转微镜为例验证了方法的有效性.用硬件描述语言Mast编程建立了组件模型,使用组件模型构建了系统级模型并进行了仿真分析.分析表明,两种方法的仿真精度与有限元方法比较相差都在2%以内;与欧拉角度法比较,使用欧拉参数法仿真速度快3倍以上;说明使用欧拉参数法能够在不显著损失精度的前提下更加有效地描述微结构的大转角非线性动态行为.
- 何洋霍鹏飞苑伟政姜澄宇
- 关键词:非线性