国家自然科学基金(11075012)
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
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- 相关机构：北京航空航天大学香港城市大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- 薄膜应力与类金刚石薄膜结合力改善的研究进展被引量：2
- 2014年
- 类金刚石(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数,高化学稳定性等优异性能,作为一种新兴功能材料受到诸多行业的关注。然而DLC生长过程会导致薄膜内部存在很高的残余应力,薄弱的膜基结合强度限制了其在工业上的广泛应用。本文简要介绍了国内外对于薄膜内应力的产生及其控制方面的研究进展,以及DLC膜基结合强度方面的研究现状和发展趋势。
- 马燕飞
- 关键词：残余应力结合力
- 增强辉光放电等离子体离子注入的三维PIC/MC模拟被引量：1
- 2012年
- 采用三维粒子模拟/蒙特卡洛模型自洽地模拟了增强辉光放电等离子体离子注入过程中离子产生和注入,获得了放电空间的离子总数、电势分布、等离子体密度分布和离子入射剂量等信息.模拟结果表明,5μs时鞘层达到稳定扩展,15μs时离子的产生与注入达到平衡,证实了增强辉光放电等离子体离子注入能在一定条件下实现自持的辉光放电.注入过程中,在点状阳极正下方存在一个高密度的等离子体区域,证实了电子聚焦效应.除靶台边缘外,离子的注入速率稳定且入射剂量均匀.脉冲负偏压提高时注入速率增加但入射剂量的均匀性变差.
- 何福顺李刘合李芬顿丹丹陶婵偲
- 关键词：等离子体浸没离子注入数值模拟
- 脉冲磁过滤阴极弧技术制备类金刚石薄膜研究
- 2012年
- 介绍了弯曲电弧磁过滤设备,并利用脉冲磁过滤阴极真空电弧沉积技术,在高速钢基体上制备了DLC膜。对制得的DLC薄膜表面形貌、Raman光谱及纳米硬度和弹性模量等进行了测试。结果表明,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的DLC膜具有优良的性能。拉曼光谱分析显示,制得的薄膜为非晶结构,具有明显的sp2和sp3键杂化结构,符合DLC膜的特征,基体负偏压为50V时,沉积的DLC膜Raman光谱的ID/IG值最小,sp3键含量最高,纳米硬度和弹性模量值达到最高,分别为29.94GPa和333.9GPa。
- 顿丹丹
- 关键词：DLC膜偏压
- 多靶磁控溅射系统磁场优化设计被引量：1
- 2010年
- 磁场分布对磁控溅射稳定性、离化率、靶材利用率及成膜质量都有重要影响,合理分布可使靶材附近等离子体分布均匀,不同位置溅射速率差减小,靶材刻蚀范围增大,靶材寿命延长,溅射过程稳定性提高。本文针对六靶复合表面改性设备,用有限元法对磁场进行模拟,得到较理想的磁场分布,为优化设计提供理论依据。
- 庞恩敬朱颖李芬李刘合卢求元朱剑豪
- 关键词：磁场有限元模拟
