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国家科技基础性工作专项(2002DEA20014)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：陈朝晖罗志勇杨丽峰顾英姿郭立功更多>>
相关机构：中国计量科学研究院更多>>
发文基金：国家科技基础性工作专项更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇相移
  • 1篇相移法
  • 1篇绝对测量
  • 1篇计量学
  • 1篇阿伏加德罗常...
  • 1篇标准具

机构

  • 1篇中国计量科学...

作者

  • 1篇丁京安
  • 1篇郭立功
  • 1篇顾英姿
  • 1篇杨丽峰
  • 1篇罗志勇
  • 1篇陈朝晖

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量被引量：5
2008年
基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统。该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm,单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7。
罗志勇杨丽峰顾英姿郭立功丁京安陈朝晖
关键词：计量学阿伏加德罗常数相移法标准具
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