国家高技术研究发展计划(2010AA1221091001)
- 作品数：24 被引量：153H指数：6
- 相关作者：郑玉权巴音贺希格谭鑫吴娜高明辉更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划吉林省科技发展计划基金中国科学院重大科研装备研制项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术环境科学与工程更多>>
- 紫外全息凹面光栅离子束刻蚀技术
- 2013年
- 通过对引出的平行离子束流外加可控磁场,可以实现离子束流偏转。该方法实现IV型凹面光栅沿曲面不同闪耀角离子束刻蚀,能够获得高衍射效率的IV型凹面光栅。经过理论设计计算出理想的IV型凹面光栅闪耀角,利用全息曝光-弯转离子束刻蚀工艺制作出尺寸45mm×40mm,波长250nm处衍射效率达67%,入臂200mm,出臂188mm,曲率半径224mm的IV型凹面光栅。同时,利用平行离子束流制作了相同参数的IV型凹面光栅,其250nm处的衍射效率为30%。实验结果表明,利用弯转离子束流制作IV型凹面光栅的方法简单易行,并能够精确控制离子束流实现高衍射效率的IV型凹面光栅制作。
- 王长庚
- 关键词：衍射效率离子束刻蚀
- 基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅
- 2013年
- 研究了制备闪耀凹面光栅的离子束刻蚀工艺,提出了用"解析分区法"设计闪耀凹面光栅的衍射效率。该方法能通过确定离子束入射角,在实验前定量给出平行离子束刻蚀后光栅衍射效率的设计结果。经过理论设计计算出所需波长衍射效率较高的凹面闪耀光栅中心闪耀角,利用刻蚀模拟软件BLAZING计算出离子束刻蚀参数及光刻胶掩模参数;以计算结果为依据,利用全息-离子束刻蚀工艺制作出尺寸为45 mm×40 mm2,曲率半径为224 mm的凹面闪耀光栅,其中心闪耀角约为9.21°,峰值衍射效率为54.8%@300 nm,250 nm处衍射效率为50%,与"解析分区法"计算结果符合较好。实验结果表明,利用"解析分区法"进行凹面闪耀光栅衍射效率设计的方法简单易行,能够有效指导平行离子束刻蚀闪耀凹面光栅工艺,完成高衍射效率凹面闪耀光栅的制作。
- 谭鑫沈晨吴娜张方程巴音贺希格
- 关键词：闪耀光栅衍射效率离子束刻蚀
- 反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅
- 2015年
- 相比类矩形槽罗兰光栅，闪耀罗兰光栅的衍射效率较高，更有利于光谱分析仪器的设计与应用，而国内外尚无产品级闪耀罗兰光栅产品．本文通过类矩形槽形及闪耀槽形的衍射效率优化设计及对比，获得了闪耀槽形优化设计结果；利用反应离子束刻蚀设备制作出3块200～450nm波段、线密度为2400gr／mm、口径为（b63．5mm的闪耀罗兰光栅，其中光栅2的峰值衍射效率达到了65％@220nm，较HORIBA Jobin Yvon公司生产的类矩形槽罗兰光栅产品整体衍射效率高25％，与理论衍射效率相当．实验结果表明，本文所采用的反应离子柬刻蚀工艺可实现高衍射效率闪耀罗兰光栅制作，且工艺可控、稳定，所制作的闪耀罗兰光栅衍射效率高于国外同类产品．
- 谭鑫
- 关键词：衍射效率反应离子束刻蚀粗糙度
- CO_2探测仪1610nm通道光谱仪的精细定焦
- 2015年
- 基于能量集中度的装调方法采用一套由可调谐激光器、积分球、平行光管和数据采集处理软件等组成的精细定焦系统,以确定CO2探测仪1 610 nm通道光谱仪的最佳焦面位置并完成探测器的精确安装,以像元光谱响应曲线(ILS)的全高半宽度(FWHM)作为聚焦评价函数,通过调整探测器方位遍历搜寻该函数最小值并作为正焦的最终评价依据,进而完成光谱仪的精细定焦任务。定焦结果显示:探测器获得的光谱响应曲线平均半宽度为0.128 1 nm,与理论值吻合良好。该系统不仅操作简单、结构紧凑且具有较高的定焦精度,也为光谱仪定标等后续工作提供了实验保障。
- 郑成超蔺超王龙纪振华郑玉权
- 关键词：光谱带宽
- 痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点
- 2015年
- 单晶硅中阶梯光栅闪耀角、非闪耀角以及顶角平台等参数对于其在光谱仪行业的应用十分重要。所以,为获得高精度中阶梯光栅槽形,对单晶硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点时刻进行控制显得尤为重要。基于气相色谱-原子吸收光谱法对单晶硅与KOH刻蚀液反应过程中生成的痕量氢气进行在线监测,通过获得氢质量数监测曲线拐点确定单晶硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点时刻。通过对反应温度和刻蚀液浓度分别从60~90℃、10%~40%范围内的调节,共进行了7组实验。根据实验结果可以得到,在氢质量数监测曲线出现拐点±5s范围内随机时刻停止刻蚀过程,所获得光栅槽形参数与理论设计光栅槽形参数进行比较,误差均〈0.5%。上述实验结果表明,通过上面所提出的刻蚀截止点控制方法能够获得参数误差〈0.5%的中阶梯光栅槽形,从而达到获得高精度光栅槽形的目的。
- 王军
- 关键词：湿法刻蚀中阶梯光栅
- 高光谱与高分辨率CO_2探测仪安装座结构设计被引量：2
- 2014年
- 随着环境大气污染程度的加剧,特别是CO2增加,各国对大气环境质量的监测越来越重视。相应的高光谱与高分辨率探测仪的应用也越来越得到关注。而星载探测仪必须满足空间环境的要求才能保证探测仪的成像质量。安装座作为探测仪的关键部件,它的设计合理与否对探测仪的精度具有很大的影响。因此根据探测仪使用要求及安装接口设计了三种安装座结构,对比其在力学振动和温升条件下的性能。从理论和实验得出,平动式安装座在力学振动环境下一阶频率达到82 Hz,准直镜组件相对光栅面偏转小于10″,成像镜组件相对光栅面偏转小于10″,都能满足设计技术要求。在4℃温升环境下,平动式安装座的结构对准直镜组件和成像镜组件产生的影响最小,都小于17″,能够保证探测仪的成像质量。通过分析和实验证明该结构合理可行,并为后期相关仪器的支撑设计提供了参考。
- 高明辉郑玉权郭万存
- CO_2探测仪红外探测器组件的热设计被引量：3
- 2016年
- 在低目标红外探测器的优化设计中,CO_2探测仪红外探测器组件内热源功耗大。为了满足信噪比要求使得探测器组件目标温度低、精度要求高,解决以上情况下探测器组件的散热问题,提出了主动热控与被动热控相结合、主动热控精密控制的热设计方案,并采用散热翅片加强散热。利用I-DEAS软件对探测器组件进行热分析计算,得到了探测器组件不同工况不同工作模式下的温度变化值,结果表明红外探测器组件温度范围约为-30%^-26℃。热分析计算结果验证了热设计的合理性,所采用的热控方案能够有效的解决大功耗、低目标温度航天器的散热问题。
- 王殿君陈立恒
- 关键词：红外探测器热设计热分析
- 移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计被引量：13
- 2014年
- 建立了移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统以提高全息光栅槽型对比度并降低由外部环境造成的曝光干涉条纹相位移动。根据系统的组成原理,分析了相位测量系统中莫尔条纹的产生条件及其与干涉条纹相位变化的关系,给出了探测器的选择方法。根据系统精度要求计算了A/D转换位数,自行设计了数字控制系统。提出采用光束移频方法来调整条纹相位,应用声光调制器对干涉条纹移动进行实时校正。实验结果表明,该系统采样频率可以达到5kHz,对干涉条纹漂移和10Hz以下的低频振动都有较好的抑制作用,相位变化3σ值小于0.12rad,即相位变化小于±0.02个干涉条纹周期。该系统可以实时有效地锁定曝光干涉条纹,较好地满足全息曝光的要求。
- 宋莹巴音贺希格齐向东张宁唐玉国
- 关键词：全息光栅莫尔条纹相位锁定声光调制器
- 小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究被引量：1
- 2015年
- 为降低硅中阶梯光栅制作工艺中顶角平台对光栅衍射效率的影响,提出了"紫外曝光-倒置热熔"结合法用于制备具有小占宽比的光刻胶掩模,对中阶梯光栅设计、硅基片准备以及光刻胶掩模制备等环节进行了研究。AFM测试结果表明,可以制备占宽比为1∶5的光刻胶掩模,远远超出光栅理论设计中对顶角平台尺寸的要求。
- 焦庆斌
- 关键词：紫外曝光湿法刻蚀
- 天基激光武器系统的发展被引量：6
- 2013年
- 介绍了天基激光武器系统的概念、组成、应用和关键技术,分析了激光对目标的杀伤程度,并给出了相应的参考阈值。针对系统的关键问题提出一些解决方法,包括高能激光器的研制和种类,大口径反射镜研制技术和结构形式,以及天基目标捕获跟踪瞄准(ATP)系统精度的影响因素和提高精度的方法。通过对天基激光武器系统发展的研究,为该系统的进一步发展和精度的提高提供研究方向和理论基础。
- 高明辉郑玉权王志宏
- 关键词：航天技术天基激光武器高能激光器大口径反射镜跟踪瞄准系统
