上海市科学技术委员会资助项目(09XD1404000)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：黄秋实李浩川王占山朱京涛谭默言更多>>
- 相关机构：同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 多层膜劳厄透镜对8keV X射线的聚焦性能模拟研究被引量：2
- 2011年
- 基于多层膜技术的劳厄(Laue)透镜能实现硬X射线纳米级聚焦,在X射线微纳分析领域具有重要的应用前景。基于衍射动力学理论,分析了X射线在多层膜劳厄透镜中的传播,计算了不同结构的多层膜劳厄透镜对8keVX射线的聚焦性能。结果表明,最外层厚度为5nm的倾斜多层膜劳厄透镜可获得5.7nm的聚焦光斑和26%的平均衍射效率。
- 李浩川黄秋实朱京涛王占山
- 关键词：X射线光学波带片分辨率
- 在19.5nm处高反在30.4nm处抑制的双功能薄膜
- 2011年
- 研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构,在国家同步辐射实验室测试了双功能多层膜的反射特性。结果表明:制备出的双功能膜性能与设计相符,在入射角13,°19.5 nm处的反射率达到33.3%,接近传统的19.5 nm周期高反膜的反射率,并且在30.4 nm附近将反射率由1.1%降到9.6×10-4。
- 蒋励王晓强谭默言黄秋实李浩川周斯卡朱京涛王占山
- 关键词：双功能多层膜极紫外直流磁控溅射
