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国家自然科学基金(61078044)
作品数:
3
被引量:5
H指数:2
相关作者:
朱秋东
马建荣
胡摇
郝群
钟卉
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相关机构:
北京理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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一般工业技术
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北京理工大学
作者
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朱秋东
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郝群
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胡摇
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1篇
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哈特曼波前传感器中采样点数的分析
2012年
随着哈特曼传感器测量口径的增大,采样点数对被测波前的空间分辨率、测量精度及动态范围的影响也随之增大,因此通过计算机仿真波前径向斜率拟合过程,分析出采样点数和斜率探测误差对测量精度和测量范围的影响。计算机仿真的波前斜率拟合所用泽尼克多项式达到121项,测量口径2m,测量精度要求λ/50,径向(半径)和切向最少采样点数分别为10点和21点。当径向和切向采样点数分别为40点和250点,斜率测量误差为0.045″时,所测波前的P-V值范围是0-4λ。
高玮
朱秋东
钟卉
闫福文
曹晓梅
关键词:
哈特曼波前传感器
计算机仿真
逆向哈特曼面形测量法中最佳针孔直径确定
被引量:3
2014年
在逆向哈特曼法中,针孔光阑具有选择光线和决定测量分辨率的作用,其直径大小直接影响CCD接收器上光斑的大小以及光线在瞳面上精确位置的确定。用衍射光学理论,推导出了精确计算针孔直径的傅里叶变换表达式,并进一步给出了针孔直径的快速解析计算式。实验证明,在实际非球面面形测量中,快速估算式能够满足计算最佳针孔直径的精度要求并提高计算效率。
马建荣
郝群
朱秋东
胡摇
关键词:
计量学
面形测量
非球面
基于球坐标的逆向哈特曼面形测量法
被引量:2
2013年
提出一种基于球坐标的逆向哈特曼面形测量法,能够有效地降低非球面测量时的光线斜率,同时提高哈特曼法测量的动态范围和空间分辨率。利用该方法对口径340mm非球面度较大的表面进行仿真测量,结果显示面形测量误差可保证在A/10以内,高于直角坐标下的测量精度。该方法可用于光学生产现场对产品进行快速高精度测量,测量成本低。
马建荣
郝群
朱秋东
胡摇
关键词:
计量学
面形测量
非球面
球坐标
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