江苏省自然科学基金(BK2008086)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- 横向接触式RF MEMS开关被引量：1
- 2010年
- 提出了一种横向接触式RF MEMS开关,采用金属叉指结构进行驱动。通过结构建模和性能仿真,对叉指结构进行了优化,提高了机械性能,减小开关的尺寸。通过加大横向接触面积,降低接触电阻,减小开关导通态的插损,提高了开关的射频性能。利用低温表面牺牲层工艺在砷化镓衬底上进行了开关的流片,通过工艺的改进最终得到满意的流片结果。测试结果表明:在DC-20GHz频率范围内,开关的插入损耗小于0.3dB,隔离度大于20dB。
- 杜国平朱健郁元卫侯智昊
- 关键词：射频微机电系统开关
