您的位置： 专家智库 > >

内蒙古科技厅基金(2010B1658)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：张立业张忠义慕利娟赵增祺更多>>
相关机构：包头稀土研究院内蒙古科技大学内蒙古工业大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划包头市科技计划项目内蒙古科技厅基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇抛光液
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇SIO2
  • 1篇CEO2

机构

  • 1篇内蒙古工业大...
  • 1篇内蒙古科技大...
  • 1篇包头稀土研究...

作者

  • 1篇赵增祺
  • 1篇慕利娟
  • 1篇张忠义
  • 1篇张立业

传媒

  • 1篇稀土

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
铈基、硅基半导体抛光液的发展概况
2013年
介绍了化学机械抛光液的研究进展和抛光原理,分析了化学机械抛光过程中抛光液的重要作用,阐述了配制化学机械抛光液的两种方法,分析了影响铈基抛光液和硅基抛光液抛光性能的诸多因素。最后指出了抛光液回收再利用的重要性和可行性。
张立业张忠义赵增祺慕利娟
关键词：化学机械抛光
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0