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上海市科学技术委员会资助项目(1052nm06800)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：徐东张亚非戴振清陈长鑫陈海燕更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目上海市青年科技启明星计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇碳纳米管
  • 1篇气敏
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米管
  • 1篇感器
  • 1篇SIO2/S...
  • 1篇场效应
  • 1篇场效应器件
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器研究

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇魏良明
  • 1篇杨志
  • 1篇陈海燕
  • 1篇陈长鑫
  • 1篇戴振清
  • 1篇张亚非
  • 1篇徐东

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
碳纳米管场效应型DMMP气敏传感器研究
2012年
基于单壁碳纳米管(SWCNT)的场效应气体传感器由于具有传感性能好、体积小、室温操作和加偏压自我解吸附等优良性能,有着广泛的应用前景。利用单壁碳纳米管自组装技术在SiO2/Si基底上制备均匀分布的SWCNT薄膜,将其作为沟道制作了具有灵敏开关特性的场效应晶体管(FET),该FET器件的开关比达到105。将此FET器件作为气体传感芯片用于甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体分子的检测。结果显示,当通入DMMP气体时,器件的阈值电压向负栅电压方向移动。当DMMP体积分数为5×10-6,栅压为-10 V时,器件的灵敏度达到32%,响应时间为300 s。在15 V的栅压下器件能够很快地实现气体解吸附。
陈海燕陈长鑫戴振清杨志魏良明徐东张亚非
关键词：碳纳米管场效应器件气体传感器SIO2/SI
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