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天津市自然科学基金(0438007110)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：李家俊贾士利赵乃勤杜希文孙景更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇退火
  • 1篇退火工艺
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米复合薄膜
  • 1篇溅射
  • 1篇SI
  • 1篇SIC

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇孙景
  • 1篇杜希文
  • 1篇赵乃勤
  • 1篇贾士利
  • 1篇李家俊

传媒

  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si/SiC纳米复合薄膜退火工艺的控制
2006年
讨论了Si／SiC半导体纳米复合发光薄膜退火工艺的控制。半导体纳米复合发光薄膜的光致发光性能，直接受到退火工艺的影响和制约，退火后薄膜的组态及其元素的变化等因素，可能使得薄膜变成并不是所期望得到的结果。该文采用了在不同气氛、不同退火介质、不同放置方法等防氧化方法下进行退火，提高了退火可信度，使纳米复合薄膜的结果更可靠。
贾士利孙景李家俊杜希文赵乃勤师春生
关键词：纳米复合薄膜溅射退火
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共1页<1>
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