国家自然科学基金(51175092)
- 作品数：22 被引量：70H指数：5
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- 相关领域：机械工程金属学及工艺理学电子电信更多>>
- 激光制备复合沟槽微热管吸液芯毛细压力与传热性能研究
- 微热管是利用工质相变循环进行热量运输的一种高效导热元件。吸液芯毛细压力作为评价微热管吸液芯结构质量的关键参数，始终成为国内外学者关注的重点。近年来，微热管吸液芯结构及参数的完善成为提升吸液芯毛细压力最直接有效的方法。本文...
- 况旭
- 关键词：微热管毛细压力传热性能
- 文献传递
- 表面微织构Al_2O_3-TiC陶瓷刀具的切削性能研究被引量：6
- 2017年
- 研究了不同形状和不同结构尺寸的表面微织构陶瓷刀具切削45#淬火钢后,陶瓷刀具的前刀面月牙洼磨损形貌和后刀面磨损量,进而分析表面微织构对陶瓷刀具的作用机理和不同表面微织构的影响。其中,分别针对无微织构和三种不同形状,不同深度、宽度和间距的表面微织构陶瓷刀具做了单因素切削实验。实验结果表明,具有表面微织构的陶瓷刀具切削性能优于无微织构陶瓷刀具,过大的深度、宽度和间距反而不利于刀具前刀面的减摩。刀具表面微织构深度为10μm、宽度为25μm、间距为50μm时,与切削刃平行的横向微织构陶瓷刀具的切削性能最好,即该表面微织构的减摩效果最明显。
- 洪继伟魏昕谢小柱华显刚
- 关键词：陶瓷刀具激光加工
- 超薄不锈钢基板CMP抛光头的改进被引量：1
- 2016年
- 介绍了化学机械抛光过程中传统的工件夹持方式,针对传统夹持方式在夹持超薄不锈钢基板等柔性工件时存在的缺点,设计了一种新的CMP抛光头,该抛光头采用真空吸盘吸附工件。同时设计了相应的真空气路系统,保证抛光头响应速度和对工件夹持的可靠性。通过ABAQUS软件分析了超薄不锈钢基板在抛光过程中的变形及其与抛光垫之间的接触压力,得到真空吸盘的合理结构。最后采用改进后的抛光头进行不锈钢基板抛光实验,并对比基板抛光前后表面质量验证抛光头的有效性。
- 袁文强魏昕谢小柱胡伟
- 关键词：化学机械抛光
- 化学机械抛光过程抛光液作用的研究进展被引量：11
- 2012年
- 化学机械抛光(CMP)已成为公认的纳米级全局平坦化精密超精密加工技术。抛光液在CMP过程中发挥着重要作用。介绍了CMP过程中抛光液的作用的研究进展,综合归纳了抛光液中各组分的作用,为抛光液的研制和优化原则的制定提供了参考依据。
- 邹微波魏昕杨向东谢小柱方照蕊
- 关键词：抛光液材料去除率
- 激光加工陶瓷刀具表面微织构的发展现状与前景被引量：3
- 2014年
- 高速切削已经成为21世纪机械制造业的主流发展方向,而高速切削刀具仍然是限制淬硬钢等难加工材料的切削效率提高的关键因素。仿生摩擦学的出现,为刀具表面减摩技术带来了新的研究方向。针对陶瓷刀具、高速切削技术和微织构加工技术的发展现状,提出采用激光加工的方法实现陶瓷刀具表面微织构的加工技术。并分析了淬硬钢等难加工材料的高速切削过程中存在的问题,认为开展短波长激光加工陶瓷刀具表面微织构的研究对于该问题的解决具有重要的意义。
- 华显刚魏昕谢小柱刘泽宇洪继伟
- 关键词：陶瓷刀具激光加工微织构淬硬钢
- 纵扭复合振动超声加工运动特性研究被引量：2
- 2018年
- 外加超声电源激励产生的复合振动输出模态作用于加工刀具上,从而改变实际超声加工过程中刀具相对于工件之间的运动状态,出现不同于传统磨削加工的运动特性,由运动合成原理,在分析纵扭复合振动作用下刀具切削运动轨迹特征及由此产生的加工特性下对普通磨削加工和复合振动超声加工进行磨削工程氧化锆陶瓷材料表面试验,提出了超声加工运动形式的不同所体现出的工艺优势,理论与试验结果表明超声振动下独特的运动形式体现出的加工特性会促进切屑排除,使得刀痕沟槽均匀,改善加工表面质量,突出超声加工工艺方法应用于精密及超精密加工的重要意义。
- 张能魏昕汪永超
- 关键词：超声加工
- CMP抛光界面温度的在线检测被引量：1
- 2016年
- 介绍了化学机械抛光过程中监控抛光界面温度的重要性。总结了其他学者对抛光界面温度的检测方法,并分析每种方法的优缺点。设计了一种抛光界面温度在线检测装置,介绍了它的结构和组成该装置的各元件型号及性能。进行了不同抛光压力、抛光盘转速和抛光液流量的CMP试验,并利用该装置检测各情况下的抛光界面温度变化。为了进一步地说明该装置的有效性,将抛光液流量为20m L/min时的温度检测结果与仿真结果对比,六组对比数据都十分接近,同时也验证了该计算方法的有效性。提出了将该温度检测装置应用于判断抛光过程是否正常以及某些工件的抛光终点检测的想法。
- 袁文强魏昕谢小柱胡伟
- 关键词：化学机械抛光温度
- CMP过程中抛光垫表面沟槽对液膜厚度影响研究被引量：2
- 2015年
- 抛光垫表面沟槽结构是决定抛光液抛光效果的重要因素之一。为了研究抛光垫表面沟槽对化学机械抛光过程的影响,设计并搭建了高速摄影仪在线检测平台,检测并研究了有无沟槽及不同类型沟槽结构对液膜厚度的影响。实验结果表明:抛光垫开槽可以增加抛光液液膜厚度分布均匀性;在同心圆型、放射型、网格型、复合型4种类型抛光垫结构中复合型沟槽具有最优抛光效果。
- 钟静魏昕谢小柱杨向东
- 关键词：化学机械抛光液膜厚度
- 超声加工技术的研究进展及其发展趋势被引量：8
- 2018年
- 超声加工技术是在传统制造加工技术中,对工件或者工具施加沿一定方向的可控的超声频振动而形成的一种新型加工技术,其具有提高加工工件表面质量、减小加工工具磨损、降低加工区域温度及减少切削力等诸多优点。介绍了超声加工技术在超声振动系统、加工工艺参数、超声复合加工和深小孔加工等方面的研究进展,概括了各项研究的加工特点。综合近年来对超声加工技术的研究进展,分析了对超声加工技术研究中存在的待解决问题,并阐述了未来超声加工技术的发展趋势。
- 张能魏昕谢小柱胡伟
- 关键词：超声加工超声振动系统超声复合加工深小孔加工
- 不锈钢基板化学机械抛光过程温度研究被引量：6
- 2014年
- 鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境,研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统,检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明:抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随着抛光液流量的增大而减小。不锈钢基板边缘点抛光温度高于中心点抛光温度,聚氨酯材料比合成革和磨砂革材料的温升更大。当抛光垫加沟槽时,温升将明显下降,且径向型与周向型沟槽温度变化相差不大,网格型沟槽温差变化最小。抛光垫沟槽间距增大,温升增大;沟槽宽度对温升影响较小。
- 郑海凤魏昕谢小柱杨向东胡伟
- 关键词：化学机械抛光温度检测
