采用激光脉冲沉积与射频等离子体相结合的方法(PLD-RF),在蓝宝石衬底上一步沉积了掺氮铌酸锂(LiNbO_3∶N)薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和紫外-可见-红外光谱仪(UV-Vis-NIR)对LiNbO_3∶N的晶格结构、掺杂含量及价态、光学性质进行了研究。结果表明铌酸锂薄膜沿(006)方向择优生长,其中氮的原子含量为2.04%,替代氧原子的位置,N的掺入有效的窄化了LiNbO_3的带隙,使其紫外-可见吸收光谱的吸收边出现红移,并且在铌酸锂禁带中引入了杂质能级(EN),能级深度为2.7 e V。
