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吉林省科技发展计划基金(20080331-1)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：孙岩石澎姚林付秀华更多>>
相关机构：长春理工大学中山火炬职业技术学院更多>>
发文基金：吉林省科技发展计划基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇增透
  • 1篇增透膜
  • 1篇探测器
  • 1篇离子辅助沉积
  • 1篇光学
  • 1篇光学薄膜
  • 1篇红外
  • 1篇红外探测
  • 1篇红外探测器
  • 1篇红外增透膜

机构

  • 1篇长春理工大学
  • 1篇中山火炬职业...

作者

  • 1篇付秀华
  • 1篇姚林
  • 1篇石澎
  • 1篇孙岩

传媒

  • 1篇红外与激光工...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
红外探测器滤光膜的研究与制备被引量：3
2012年
为满足红外探测器在1.064μm和3～5μm双波段透射,在1.2～2.8μm波段反射,可适应复杂的环境条件、具有高稳定性和可靠性等要求,依据薄膜的设计理论,选择合理的膜系设计方法,借助TFC膜系设计软件对膜系结构进行优化设计。并采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术,在蓝宝石晶体基底上镀制红外多波段滤光膜。同时对所使用的薄膜材料的光学、物理、化学和机械特性进行分析与研究。通过反复试验,优化工艺参数,使多波段滤光膜得以实现。对所制得的薄膜进行测试,基本满足红外探测器的使用要求。
孙岩付秀华石澎姚林
关键词：光学薄膜红外增透膜离子辅助沉积
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