国家自然科学基金(50171031)
- 作品数：13 被引量：61H指数：5
- 相关作者：胡昌义陈力蔡宏中魏燕陈松更多>>
- 相关机构：昆明贵金属研究所中南大学昆明冶金研究院更多>>
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- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
- 铂薄膜化学气相沉积动力学规律探讨被引量：9
- 2003年
- 以乙酰丙酮铂为沉积源物质 ,采用金属有机化合物化学气相沉积 (MOCVD )法在Mo基体上制备了Pt薄膜。研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体 (氩气 )流速等沉积参数的关系。Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程 :沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系 ,当温度为 5 5 0℃时 ,Pt的沉积速率达到最大值 ;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高 ,Pt的沉积速率直线增加 ;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率。SEM波谱成分分析表明 ,Pt薄膜中含有少量的氧。
- 胡昌义尹志民王云万吉高邓德国高逸群
- 关键词：复合材料化学气相沉积动力学
- 贵金属化学气相沉积的研究进展被引量：12
- 2005年
- 简要介绍了贵金属薄膜和涂层材料化学气相沉积(CVD)技术的研究进展,包括贵金属的CVD制备方法、沉积贵金属的各种前驱体化合物以及CVD制备的贵金属薄膜和涂层的应用状况等。
- 胡昌义戴姣燕陈松欧阳远良王云
- 关键词：金属材料化学气相沉积前驱体
- Ir/Re互扩散研究被引量：2
- 2006年
- 在电子探针测量的基础上，根据扩散理论和Ir-Re相图数据，建立了一个全新的Ir/Re两相扩散模型。计算得到在1200℃～2000℃时Ir基固溶体中的互扩散系数为：D=1.17×10^-6exp（-1.80eV/kT）（cm^2/s）,Re基固溶体中的互扩散系数为：D=1.36×10^-4exp（-1.21eV/kT）（cm^2/s）.确定喷管中Ir/Re为品界扩散。
- 陈松胡昌义杨家明郭俊梅邓德国
- 关键词：IRRE扩散CVD
- CVD温度对钽沉积层性能的影响被引量：7
- 2012年
- 介绍了化学气相沉积(CVD)制备难熔金属钽涂层的原理及方法。采用冷壁式化学气相沉积法,在钼基体上沉积出难熔金属钽层。分析研究了CVD温度对沉积层的沉积速率、组织、结构和硬度等的影响。结果表明:在1000～1200℃温度范围,沉积速率随温度升高而增大;当温度超过1200℃时,沉积速率随温度的升高反而略有减小;沉积层组织呈柱状晶并随温度的升高逐渐增大;沉积层的硬度及密度随温度的升高而逐渐降低。化学气相沉积钽的最佳温度在1100℃左右。
- 蔡宏中魏巧灵魏燕陈力郑旭胡昌义
- 关键词：化学气相沉积钽
- CVD法制备的Ir/Re涂层复合材料界面扩散研究
- 采用化学气相沉积(CVD)技术制备了Ir/Re 涂层复合材料,并在高温高真空条件下对复合材料样品进行扩散热处理。应用电子扫描波谱法探针研究了Ir/Re复合材料界面Re元素在Ir涂层中的扩散规律。应用半无限大扩散模型进行处...
- 胡昌义陈松杨家明邓德国高逸群尹志民王云李靖华
- 关键词：CVD复合材料扩散
- 文献传递
- Ir/Re复合材料的显微组织研究被引量：2
- 2005年
- 给出了几种高效制备Ir/Re复合材料(CVD方法制备)金相的方法。发现Re层组织分为靠近Ir层的细晶粒区和柱状晶粒区,分别测定了相应晶粒度。同时对退火孪晶、V,W型侵蚀纹和晶界上的kirkendall孔洞等的特点进行观察和分析。通过Ir层组织的SEI像,了解了Ir晶粒的形貌和生长特点,同时计算并给出了Ir晶粒的生长动力学方程。
- 陈松胡昌义杨家明 蔡云卓 郭俊梅 王云 邓德国 潘再富
- 关键词：铱铼显微组织
- 反应气体流量对CVD钽性能影响研究被引量：4
- 2013年
- 介绍了化学气相沉积（CVD）技术制备难熔金属钽涂层的原理及方法。利用TaC15-H2·HCl反应体系，以冷壁式化学气相沉积法在钼基体表面沉积了钽涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线物相分析仪（XRD）、显微硬度计等分析手段，研究了反应气体（氢气、氯气）的流量变化对钽涂层的沉积速率、结构、表面形貌、硬度及密度等的影响；应用Harris公式，计算了钽涂层的织构系数，获得了钽涂层的择优取向。研究结果表明：随着氢气流量的增加，涂层沉积速率加快，随着氯气流量的增加，涂层的沉积速率则是先增加后减小；涂层由体心立方结构的钽（α—Ta）构成，表面形貌呈类金字塔形结构，涂层（200）晶面方向为最快生长方向；反应气体流量变化对涂层硬度及密度的影响均不明显；涂层维氏硬度在HV130．94～HV152．43之间，涂层致密性好，相对密度都在99．65％以上。
- 蔡宏中易健宏魏巧灵陈力魏燕胡昌义
- 关键词：反应气体化学气相沉积
- MOCVD法制备Ir/C簇膜的成分与结构研究被引量：4
- 2006年
- 以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在石英片上沉积了Ir/C簇膜。研究了氧气流量及沉积温度对Ir/C簇膜成分和结构的影响。研究发现,少量氧气的加入(4mL/min)大幅度地降低了Ir/C簇膜中碳元素的含量;沉积温度对薄膜中碳含量的影响规律则比较复杂:未通氧气的情况下,在实验温度范围内碳含量随着温度的升高而增大,而在通入氧气的情况下碳含量呈现出先升后降的复杂变化趋势。大量碳的沉积宽化了Ir的衍射峰,使其具有非晶衍射的特征。当沉积温度为650℃,未通氧气沉积的Ir/C簇膜中铱晶粒粒经约为3nm。
- 戴姣燕胡昌义万吉高方颖欧阳远良高文桂刘伟平杨家明
- 小推力液体火箭发动机用铱/铼材料体系研究进展被引量：1
- 2013年
- 概述了当前小推力液体火箭发动机用铱/铼材料体系研究和应用进展。随着对发动机性能要求的提高,研制出耐高温性能更好、质量更轻的新型铱,铼材料体系,并将它们应用于发动机燃烧室的制造是提高发动机技术水平的有效途径。
- 蔡宏中易健宏魏燕郑旭祁小红陈力胡昌义
- 关键词：金属材料铱铼火箭发动机
- CVD温度对钽涂层组成、显微组织及形貌的影响被引量：9
- 2012年
- 利用TaCl2-H2-HCl反应体系,采用冷壁式化学气相沉积法(CVD)在钼基体表面沉积钽涂层。通过X射线衍射仪、金像显微镜及扫描电镜等手段,对不同沉积温度下钽涂层的组成、组织及形貌进行了研究。结果表明:在1000～1300℃范围内,钽沉积层的相组成无变化,而对择优生长有一定影响;钽沉积层晶粒尺寸随沉积温度的升高而增大;钽沉积层表面颗粒呈金字塔形多面体且随沉积温度的升高而增大。
- 蔡宏中魏巧灵陈力王云胡昌义
- 关键词：化学气相沉积相组成显微组织形貌
