城市水资源与水环境国家重点实验室开放基金(QA200805)
- 作品数：3 被引量：9H指数：1
- 相关作者：姜宏伟彭鸿雁祁文涛尹龙承姜兆炎更多>>
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- 发文基金：黑龙江省科技攻关计划城市水资源与水环境国家重点实验室开放基金黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学环境科学与工程更多>>
- 不同氩气与氢气流量比对硼掺杂纳米金刚石膜的影响被引量：1
- 2011年
- 采用直流热阴极PCVD方法,以B(OCH3)3作为硼源,通过改变氩气与氢气流量比,在p型Si衬底上沉积了硼掺杂纳米金刚石膜。研究了不同氩气与氢气流量比对掺硼金刚石膜生长的影响。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、霍尔系统等对样品的形貌、结构和导电性能进行了表征。结果表明,随着氩气与氢气流量比的增加,膜的晶粒尺寸由微米级向纳米级转变,并且膜中非晶碳成分增多,膜的导电性能变好。
- 姜兆炎彭鸿雁姜宏伟尹龙承
- 关键词：氩气硼掺杂
- 掺硼金刚石膜电极电化学特性的研究被引量：8
- 2010年
- 采用直流热阴极CVD法制备掺硼金刚石膜.利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对样品进行了表征,利用电化学循环伏安法测试了掺硼金刚石膜电极的电化学特性.结果表明,该方法制备的掺硼金刚石膜电极有宽的电势窗口、很高的析氧电位和良好的稳定性.
- 祁文涛彭鸿雁姜宏伟
- 关键词：掺硼金刚石膜电极电化学特性循环伏安法
- 直流热阴极CVD法中硼酸三甲酯流量对掺硼金刚石膜制备的影响
- 2010年
- 采用直流热阴极CVD方法,以液态硼酸三甲酯为硼源,在P型(100)硅基片上制备了掺硼金刚石(BDD)膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪、X射线衍射仪(XRD)等方法对样品进行了表征,研究了其生长特性,并利用电输运特性测试系统对其电阻率进行了测试。结果表明,随着硼酸三甲酯流量的增加,晶体的表面逐渐光滑平整、棱角清晰;掺硼金刚石膜的品质呈先上升后下降的趋势;电阻率呈先下降后达到平稳的趋势,最终达到约8.0×10^(-3)Ω·cm。硼掺杂明显改变了金刚石晶体的组成结构。
- 祁文涛彭鸿雁陈玉强姜宏伟王明磊尹龙承
- 关键词：CVD
