广东省自然科学基金(10151009001000036)
- 作品数：20 被引量：61H指数：5
- 相关作者：魏昕谢小柱胡伟杨向东邹微波更多>>
- 相关机构：广东工业大学河源广工大协同创新研究院东莞理工学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 纵扭复合振动超声加工运动特性的研究
- 纵扭复合振动旋转超声铣磨加工是在刀具作旋转运动的同时,通过外加超声电源激励产生的具有一定周期的高频可控超声振动,作用于刀具切削方向和切深方向,使刀具在旋转的同时沿轴向和径向作高频振动,其运动方式可分解成三个独立运动:绕主...
- 张能魏昕
- 关键词：超声加工运动特性工艺特点
- 超声振动磨削工程陶瓷的磨削力试验研究被引量：5
- 2019年
- 为了研究纵扭复合振动超声加工过程中重要加工参数对磨削力动态变化的影响规律,以超声振动磨削过程中产生的磨削力大小为研究对象,采用纵扭复合振动超声磨削加工工艺方法,搭建测力系统试验平台,研究不同加工参数下磨削工程氧化锆陶瓷材料产生的磨削力变化规律,试验结果发现:外加超声振动在一定程度上能强化磨削能力,减小磨削力,取较大进给速度和磨削深度会增大磨削力,使得磨削力波动明显,而主轴转速增大则会显著减小磨削力的产生。
- 张能魏昕汪永超谢小柱
- 关键词：超声加工
- 新型抛光垫沟槽及其在化学机械抛光中的作用研究进展被引量：5
- 2012年
- 化学机械抛光过程中,抛光垫性能是影响抛光质量和抛光效率的重要因素之一,而抛光垫的性能又受其表面沟槽结构形状的影响。在介绍几种常见抛光垫沟槽结构形状的特性及其作用研究的基础上,介绍了新型抛光垫沟槽的研究进展,总结了几种新型抛光垫沟槽对抛光效果的影响,为抛光垫沟槽特性的进一步研究提供参考。
- 方照蕊魏昕杨向东邹微波
- 关键词：化学机械抛光抛光垫
- CMP过程中抛光垫表面沟槽对液膜厚度影响研究被引量：2
- 2015年
- 抛光垫表面沟槽结构是决定抛光液抛光效果的重要因素之一。为了研究抛光垫表面沟槽对化学机械抛光过程的影响,设计并搭建了高速摄影仪在线检测平台,检测并研究了有无沟槽及不同类型沟槽结构对液膜厚度的影响。实验结果表明:抛光垫开槽可以增加抛光液液膜厚度分布均匀性;在同心圆型、放射型、网格型、复合型4种类型抛光垫结构中复合型沟槽具有最优抛光效果。
- 钟静魏昕谢小柱杨向东
- 关键词：化学机械抛光液膜厚度
- 超声加工技术的研究进展及其发展趋势被引量：8
- 2018年
- 超声加工技术是在传统制造加工技术中,对工件或者工具施加沿一定方向的可控的超声频振动而形成的一种新型加工技术,其具有提高加工工件表面质量、减小加工工具磨损、降低加工区域温度及减少切削力等诸多优点。介绍了超声加工技术在超声振动系统、加工工艺参数、超声复合加工和深小孔加工等方面的研究进展,概括了各项研究的加工特点。综合近年来对超声加工技术的研究进展,分析了对超声加工技术研究中存在的待解决问题,并阐述了未来超声加工技术的发展趋势。
- 张能魏昕谢小柱胡伟
- 关键词：超声加工超声振动系统超声复合加工深小孔加工
- 不锈钢基板化学机械抛光过程温度研究被引量：6
- 2014年
- 鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境,研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统,检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明:抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随着抛光液流量的增大而减小。不锈钢基板边缘点抛光温度高于中心点抛光温度,聚氨酯材料比合成革和磨砂革材料的温升更大。当抛光垫加沟槽时,温升将明显下降,且径向型与周向型沟槽温度变化相差不大,网格型沟槽温差变化最小。抛光垫沟槽间距增大,温升增大;沟槽宽度对温升影响较小。
- 郑海凤魏昕谢小柱杨向东胡伟
- 关键词：化学机械抛光温度检测
- 超声振动铣磨工程陶瓷的表面粗糙度研究被引量：2
- 2019年
- 外加超声振动使得加工过程中刀具与工件间相对运动形式和材料去除效果发生改变,采用金刚砂磨头对工程氧化锆陶瓷材料进行了相同加工参数下的普通铣磨和一维超声振动铣磨对比试验,并进行一维振动铣磨单因素试验,研究加工参数(主轴转速、铣磨深度、进给速度及超声能量)对加工表面粗糙度的影响规律。实验结果表明,在同样的加工条件下,一维超声振动铣磨加工更能显著地降低表面粗糙度;且不同的加工参数组合对表面粗糙度影响规律不同,合理地选取各单因素参数能显著的降低表面粗糙度,对加工工程陶瓷材料能产生显著的工艺效果及指导意义。
- 张能魏昕
- 关键词：工程陶瓷单因素试验表面粗糙度
- 表面微织构Al_2O_3-TiC陶瓷刀具的切削性能研究被引量：6
- 2017年
- 研究了不同形状和不同结构尺寸的表面微织构陶瓷刀具切削45#淬火钢后,陶瓷刀具的前刀面月牙洼磨损形貌和后刀面磨损量,进而分析表面微织构对陶瓷刀具的作用机理和不同表面微织构的影响。其中,分别针对无微织构和三种不同形状,不同深度、宽度和间距的表面微织构陶瓷刀具做了单因素切削实验。实验结果表明,具有表面微织构的陶瓷刀具切削性能优于无微织构陶瓷刀具,过大的深度、宽度和间距反而不利于刀具前刀面的减摩。刀具表面微织构深度为10μm、宽度为25μm、间距为50μm时,与切削刃平行的横向微织构陶瓷刀具的切削性能最好,即该表面微织构的减摩效果最明显。
- 洪继伟魏昕谢小柱华显刚
- 关键词：陶瓷刀具激光加工
- 树脂结合剂含量对单晶硅片减薄加工用砂轮性能的影响规律研究
- 2011年
- 通过磨削实验,研究了树脂结合剂含量对用于单晶硅片减薄加工的金刚石砂轮的力学特性和磨削性能的影响,对砂轮的硬度、抗压强度、气孔率、磨削比、堵塞现象等进行了对比分析。结果表明,随着树脂结合剂含量增加,砂轮的硬度、抗压强度逐渐增大,气孔率变化不大。在单晶硅片的磨削实验中,随着树脂结合剂含量增加,砂轮的磨削比逐渐增大;树脂结合剂含量高的砂轮,表面更容易堵塞。
- 叶恒魏昕陈卓谢小柱
- 关键词：金刚石砂轮磨削比砂轮堵塞
- 超薄不锈钢基板CMP抛光头的改进被引量：1
- 2016年
- 介绍了化学机械抛光过程中传统的工件夹持方式,针对传统夹持方式在夹持超薄不锈钢基板等柔性工件时存在的缺点,设计了一种新的CMP抛光头,该抛光头采用真空吸盘吸附工件。同时设计了相应的真空气路系统,保证抛光头响应速度和对工件夹持的可靠性。通过ABAQUS软件分析了超薄不锈钢基板在抛光过程中的变形及其与抛光垫之间的接触压力,得到真空吸盘的合理结构。最后采用改进后的抛光头进行不锈钢基板抛光实验,并对比基板抛光前后表面质量验证抛光头的有效性。
- 袁文强魏昕谢小柱胡伟
- 关键词：化学机械抛光
