国家自然科学基金(50205022)
- 作品数：3 被引量：30H指数：2
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- 相关领域：机械工程电气工程更多>>
- 平板式可变电容器宏建模及其在MEMS设计中的应用实例被引量：2
- 2005年
- 平板式可变电容器是MEMS重要的机电耦合部件,建立其宏模型是MEMS系统级快速仿真的迫切需求。本文采用解析法在三维空间内建立了可描述活动极板六自由度运动的宏模型,并以MAST为模型编码语言实现了其多端口参数化组件模型。在SABER仿真平台上构建了电容检测式微加速度计系统级模型,时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行有限元分析软件难以实现的复杂机电耦合系统时域行为分析。
- 何洋霍鹏飞马炳和苑伟政姜澄宇
- 关键词：微加速度计
- 一种基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法被引量：8
- 2005年
- 以多端口组件及其网络的研究作为理论基础,创建了专门针对MEMS的系统级建模方法———用单个组件 表示MEMS的各功能结构部件,组件的端口表征与部件有关的各种物理量,依据一定规则联结组件形成的网络表 征整个微系统。该方法采用常微分和代数方程描述组件的行为,混合信号硬件描述语言作为组件及其网络的建模 语言。以梁为例,阐述了如何建立其行为方程,以得到参数化、可供重用的组件模型。上述研究结合微加速度计的 系统级设计应用实例,表明该方法是实现MEMS系统级建模的有效手段,能针对MEMS固有的多能量域耦合行为 等进行快速建模与仿真。
- 霍鹏飞马炳和苑伟政
- 关键词：多端口组件网络系统级建模MEMS硬件描述语言
- 基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真被引量：22
- 2003年
- 提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真,建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型,联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型。用硬件描述语言作为编码工具,Saber作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析。研究表明,采用多端口组件网络可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。与有限元分析相比较,微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1 0%;仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响,故需要尽量减小梁宽的加工误差。借助该模型还研究了系统对正弦及脉冲输入信号的响应特性。
- 霍鹏飞马炳和苑伟政
- 关键词：传感器技术系统级设计多端口组件网络微加速度计
