教育部科学技术研究重大项目(0307)
- 作品数：19 被引量：89H指数：5
- 相关作者：赵小林张卫平丁桂甫陈文元周勇更多>>
- 相关机构：上海交通大学吉林大学更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重大项目上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学电气工程更多>>
- MEMS技术制作的螺线管微电感被引量：1
- 2006年
- 考虑和分析了螺线管微电感的几何结构参数对微电感性能的影响,利用MEMS技术制作了四种不同几何结构的高性能射频螺线管微电感。这些微电感采用铜线圈,以减小线圈寄生电阻,且制作工艺简单,成本低,与IC相兼容。测试结果表明,微电感在较宽的工作频率范围内具有较高的Q值,在频率分别为6 GHz,4.4 GHz,5.8 GHz和5.6 GHz,微电感Q峰值为38,19.1,24.1和21.9,所对应的电感量为1.81 nH,1.07 nH,1.03 nH和1.17 nH。
- 方东明周勇赵小林王西宁
- 关键词：微机电系统品质因素射频
- 一种闭环控制的错位型MEMS可调光衰减器被引量：6
- 2006年
- 针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线性度的显著效果.研制出样机并测量得到器件的响应时间(约1.5ms),动态范围(约35dB),波长相关损耗(<0.4dB),偏振相关损耗(<0.1dB)等关键性能参量.
- 邵国成戴旭涵杨昊宇赵小林丁桂甫
- 关键词：可调光衰减器闭环线性度
- 静电悬浮转子微陀螺及其关键技术被引量：22
- 2005年
- 静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。
- 崔峰苏宇锋张卫平吴校生陈文元赵小林
- 关键词：微机电系统微陀螺微加速度计转子
- 基于MEMS技术的无线USB鼠标研究被引量：1
- 2007年
- 无线鼠标可广泛用于计算机输入和虚拟技术中,具有使用灵活、性能可靠等优点,叙述了采用低g高灵敏度双轴加速度传感器ADXL202E采集加速度信息,8位精简指令(RISC)单片机ATmega16完成数据转换、编码处理,并兼作蓝牙芯片的主机,2.4GHz射频芯片nRF2402和nRF2401实现无线收发以及采用带USB接口的单片机CY7C637xx搭建无线鼠标的原理和实现方案。
- 杨华峰陈文元黄得志张卫平吴校生
- 关键词：MEMS加速度传感器USB鼠标
- 微密码锁电脑安全认证的软件系统被引量：3
- 2006年
- 介绍了微密码锁来实现电脑安全认证的方法,通过在电脑系统开机自检时获得控制权,并加载密码锁安全认证程序,输入密码后根据微密码锁的返回信号判别电脑能否正常启动从而实现电脑安全认证。其中微密码锁通过电脑并行端口控制L6234芯片来驱动。
- 谈顺毅陈文元张卫平李胜勇冯敏华
- 关键词：微机电系统并行端口
- 新式压电精密旋转驱动器被引量：2
- 2006年
- 提出一种新型将压电叠堆驱动元件应用到精密旋转驱动器上的研究方案。在对驱动器工作原理和机械结构进行分析研究的基础上,建立了以压电叠堆为驱动元件的旋转驱动数学模型。采用有限元分析软件对机械结构进行了分析,得到了机械结构工作方向的静力学变形图和频率响应特性曲线;对低频状态驱动器的旋转分辨率进行了试验测试,并对样机的频响特性进行了试验测试,结果表明仿真分析结果基本反映了机械结构的谐振频率分布状况,对结构优化设计具有一定的意义,此外对影响测试结果精度的因素进行了分析。设计的结构具有低频工作稳定、分辨率高(0.136 6μrad)等优点。
- 吴博达赵宏伟张宏壮程光明
- 关键词：频响特性压电叠堆柔性铰链有限元仿真
- 磁悬浮转子微陀螺虚拟仪器测试系统
- 2006年
- 针对悬浮转子微陀螺的静态角度测试和漂移度测试任务,对微陀螺信号拾取电路的输出进行了分析,使用虚拟仪器技术研制了基于LabVIEW的测试软件。使用图形控件实现了实时线性度计算和漂移曲线的计算及绘制。该系统简化了悬浮转子微陀螺的测试过程,减少了人工操作,提高了检测效率,并且可以在测试过程中监测到实时数据,具有直观、准确的特点,成为悬浮转子微陀螺性能测试的高效工具。
- 黄晓刚刘武陈文元张卫平吴校生
- 关键词：微陀螺测试系统虚拟仪器电容检测
- 纵向驱动MEMS永磁双稳态机构
- 2005年
- 在MEMS继电器中引入双稳态机构可以有效地减少功耗。在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后，利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构。该双稳态结构尺寸为1．9mm×1．6mm×0．03mm，通过永磁力实现无功耗姿态保持，对其单侧触点施加纵向驱动力达到15μm的纵向驱动位移可以实现双稳态姿态的切换，控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩。此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器。
- 姜政丁桂甫王艳顾东华王志明冯建智
- 关键词：永磁双稳态MEMS微继电器
- 超声振荡辅助制备铜基碳纳米管复合电镀层工艺被引量：27
- 2006年
- 为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题,运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管(Cu/CNTs)复合镀层。利用场发射扫描电镜进行观察,复合镀层微观表面平整,碳纳米管在基体中均匀分散,其与基体结合良好。依据实验结果对超声振荡在复合电镀过程中发挥作用的机制给出了初步的解释。
- 王裕超丁桂甫吴惠箐汪红姚锦元
- 关键词：碳纳米管复合电镀
- 三明治结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究被引量：2
- 2006年
- 采用MEMS技术在玻璃基片上制备了三明治结构FeNi／Cu／FeNi多层膜，在1—40MHz范围内研究了FeNi／Cu／FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场日。施加在薄膜的长方向时，巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加，在某一磁场下达到最大值，然后随磁场的增加而下降到负的巨磁阻抗效应。在频率为5MHz时，巨磁阻抗效应在磁场以：800A／m时达到最大值26．6％。巨磁阻抗效应的最大值及负的巨磁阻抗效应与多层膜中磁各向异性轴的取向及发散有关。另外，当磁场施加在薄膜的短方向时，薄膜表现出负的巨磁阻抗效应，在频率5MHz、磁场Ha=9600A／m时，巨磁阻抗效应可达-15．6％。
- 周勇丁文曹莹商干兵周志敏高孝裕余先育
- 关键词：巨磁阻抗效应MEMS技术
