北京市教委科技发展计划(KM200610772003)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 相关作者：缪旻朱正鹏金玉丰冯进军瞿波更多>>
- 相关机构：北京大学北京真空电子技术研究所北京信息工程学院更多>>
- 发文基金：北京市教委科技发展计划国家自然科学基金北京市科技新星计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究被引量：5
- 2006年
- 在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.
- 朱正鹏缪旻瞿波金玉丰冯进军
- 关键词：太赫兹真空电子技术微机电系统
- 一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器被引量：2
- 2008年
- 提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变。作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开关的分布加载来实现,并基于微扰法求出器件中心谐振频率及特性的变化规律。本文相应设计了Tc为16GHz的7阶步进式滤波器。高频有限元全波仿真表明,每加载一个MEMS开关,Tc改变约1.5GHz,损耗特性则几乎不变。这证明了理论分析方法有较高的准确性,而且器件设计具有数字化调节能力和较出色的微波性能。这种方法也可用于高通和带通滤波器。论文还介绍了器件的体硅微加工流程及MEMS开关的初步加工结果。
- 缪旻卜景鹏赵立葳
- 关键词：射频微机电系统可调谐滤波器椭圆低通滤波器
