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国家自然科学基金(51102013E0206)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
黑立富
宋建华
刘金龙
刘杰
李成明
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相关机构:
北京科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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粗糙度
机构
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北京科技大学
作者
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吕反修
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李成明
1篇
刘杰
1篇
刘金龙
1篇
宋建华
1篇
黑立富
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1篇
人工晶体学报
年份
1篇
2012
共
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预处理对超纳米金刚石薄膜表面质量的影响
被引量:1
2012年
本文研究了金刚石粉手工研磨及超声波震荡两种预处理方法对硅片衬底及超纳米金刚石膜表面粗糙度和形貌的影响,利用表面轮廓仪、X射线衍射分析(XRD)、激光拉曼、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对衬底及超纳米金刚石膜进行表征。结果表明,由于衬底轮廓的遗传特性,手工研磨的硅片上沉积的超纳米金刚石膜表面粗糙度远高于超声震荡的硅片上沉积的超纳米金刚石膜。
黑立富
刘杰
刘金龙
李成明
宋建华
吕反修
关键词:
粗糙度
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