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国家自然科学基金(51102013E0206)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：黑立富宋建华刘金龙刘杰李成明更多>>
相关机构：北京科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇预处理
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米金刚石
  • 1篇纳米金刚石薄...
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇刚石
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇北京科技大学

作者

  • 1篇吕反修
  • 1篇李成明
  • 1篇刘杰
  • 1篇刘金龙
  • 1篇宋建华
  • 1篇黑立富

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
预处理对超纳米金刚石薄膜表面质量的影响被引量：1
2012年
本文研究了金刚石粉手工研磨及超声波震荡两种预处理方法对硅片衬底及超纳米金刚石膜表面粗糙度和形貌的影响,利用表面轮廓仪、X射线衍射分析(XRD)、激光拉曼、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对衬底及超纳米金刚石膜进行表征。结果表明,由于衬底轮廓的遗传特性,手工研磨的硅片上沉积的超纳米金刚石膜表面粗糙度远高于超声震荡的硅片上沉积的超纳米金刚石膜。
黑立富刘杰刘金龙李成明宋建华吕反修
关键词：粗糙度
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共1页<1>
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