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上海市科委科研计划项目(0652nm047)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：朱兴文马季李英伟李勇强夏义本更多>>
相关机构：上海大学更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇过渡层
  • 1篇ZNO薄膜结...
  • 1篇LP
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射法
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇夏义本
  • 1篇李勇强
  • 1篇李英伟
  • 1篇马季
  • 1篇朱兴文

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
LP同质过渡层对ZnO薄膜结构性能的影响被引量：1
2008年
采用磁控溅射法低功率在玻璃衬底上制备低功率(LP)过渡层,再在其上高功率生长ZnO薄膜,研究了LP过渡层对薄膜结构性能的影响。XRD和SEM结果表明,引入LP过渡层后,高射频(RF)功率溅射的ZnO薄膜(002)定向性显著改善。随溅射功率的提高,薄膜(002)定向性有所下降,但致密性明显好转。与无过渡层薄膜相比,在溅射功率分别为30 W和50 W过渡层上生长的薄膜晶粒变大。研究表明,在30 W的LP过渡层上用200 W功率制备的薄膜性能最佳。
李勇强朱兴文李英伟马季夏义本
关键词：ZNO薄膜磁控溅射法
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