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“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项(2009ZX01001-151)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：姜涛李卫波樊荣伟赵清亮董志伟更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇带隙
  • 1篇陶瓷
  • 1篇陶瓷表面
  • 1篇破坏阈值
  • 1篇微结构
  • 1篇宽带隙
  • 1篇激光
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇于欣
  • 1篇董志伟
  • 1篇赵清亮
  • 1篇樊荣伟
  • 1篇李卫波
  • 1篇姜涛

传媒

  • 1篇红外与激光工...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
飞秒激光在宽带隙陶瓷表面的烧蚀特性被引量：3
2012年
采用飞秒激光微加工系统对宽带隙陶瓷材料SiC和Al2O3诱导微结构时的去除机理及烧蚀特性进行了研究。应用扫描电子显微镜、粗糙度轮廓仪、光学显微镜和能量色散谱仪等对烧蚀的微观形貌和化学组成进行了评价,得出加工SiC时强烧蚀和轻烧蚀的破坏阈值分别为0.61 J/cm2和0.13 J/cm2。同时获得了加工参数与烧蚀形貌之间的关系,发现材料的去除机理强烈依赖于入射激光的脉冲能量,并对二者的关联机制进行了分析。探讨了表面粗糙度和掺杂在材料中的不同元素对烧蚀结果的影响。从而为在难加工类宽带隙陶瓷材料表面加工高质量的微结构提供了有力的理论依据和技术支持。
姜涛赵清亮樊荣伟董志伟于欣李卫波
关键词：飞秒激光宽带隙破坏阈值微结构
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